深圳市科达超声自动化设备有限公司兆声波清洗机落地半导体精密清洗，工艺调试周期缩短70%

2026 年，深圳市科达超声自动化设备有限公司面向半导体、光电光学及高端精密制造场景，持续推进兆声波清洗机规模化应用，帮助客户提升纳米级颗粒去除能力、缩短新工艺导入周期，并降低高洁净清洗综合成本。

在半导体国产化、先进封装、精密光学和新能源汽车零部件制造加速升级的背景下，高端清洗环节正从通用除油除尘转向微米级、纳米级污染控制。客户普遍面临洁净度不足、批次一致性不稳定、工艺调试周期长、进口设备成本高等问题。兆声波清洗机通过高频声场与精密流体控制，为晶圆、晶圆载盒、光学镜片、微型电子元器件等高价值工件提供更可控的洁净处理路径。

科达超声兆声波清洗机覆盖 200kHz、430kHz、750kHz、1MHz、2MHz、3MHz 等高频清洗配置，可按客户工艺需求集成 DI 超纯水、弱酸碱药液、IPA、氮气风切、循环过滤和自动上下料模块。设备采用 316L 不锈钢、PTFE 特氟龙防腐管路及多级精密过滤方案，晶圆清洗机型可配置 0.05μm 滤芯，用于控制金属离子析出和颗粒二次污染。依托超过 10万组高端清洗工艺数据库 与智能算法，新工艺调试周期可缩短 70%；在高端制程应用中，国产晶圆自动清洗线综合成本较进口方案降低约 30%。

科达超声业务负责人表示：“兆声波清洗机的持续迭代，契合公司长期聚焦高端精密清洗装备国产化的发展战略。我们更关注客户在洁净度、稳定性、交付周期和综合成本上的实际需求。未来，公司将继续深耕半导体精密清洗、高端汽车部品清洗和光电光学清洗赛道，推动关键清洗装备在更多高端制造场景中实现稳定应用。”

在已落地的晶圆盒高精密清洗线项目中，科达超声通过低频超声、中频超声与兆声波复合清洗工艺，将单盒清洗周期由 25分钟压缩至10分钟，日处理量由 192盒提升至576盒；化学品消耗量减少 70%，人工成本降低 80%，0.2μm 颗粒残留率由约 12%降至2%。在大口径精密光学清洗场景中，科达超声采用多频段超声与 1MHz 兆声波耦合方案，使单件清洗周期由 4小时压缩至1.2小时，超纯水用量减少 65%，人工成本降低 90%。

**企业简介：**深圳市科达超声自动化设备有限公司是一家专业从事工业清洗设备研发、制造、销售与服务的国家级高新技术企业，核心产品包括超声波清洗机、兆声波清洗机、半导体清洗机、晶圆清洗机、碳氢真空清洗机、汽车零部件清洗机、精密光学清洗机等。公司服务半导体、汽车、光电光学、精密五金、航空航天、医疗器械等行业，依托深圳总部与重庆制造基地，面向国内核心制造集群及海外市场提供高效、环保、可定制的精密清洗解决方案。