在近期举办的半导体行业装备大会上，广东智赢半导体技术有限公司正式宣布，其自主研发的新一代双臂晶圆机械手及高端搬运集成方案已成功落地国内头部半导体设备厂。该方案通过核心部件全链条自研，一举突破晶圆高速传输的技术瓶颈，为晶圆制造与封装企业提供ISO Class 1超高洁净等级的高效量产保障。
当前，半导体制造正向先进制程加速演进，涂胶显影、电镀刻蚀等核心工艺环节对晶圆传输设备提出了极为严苛的要求。传统晶圆机械手在面对12寸大硅片以及复杂工况时，普遍存在传输精度易衰减、高速运行稳定性不足以及微尘污染等痛点。本次智赢半导体落地的全栈自研搬运方案，精准直击了高端晶圆制程中“高速率”与“高洁净度”难以兼顾的行业难题，显现出国产半导体装备核心零部件的前瞻性技术布局。
该方案以SR8220系列双臂晶圆机械手为核心，匹配智赢定制开发的6米直线电机走行轴。实测运行数据显示，独立双驱动系统支持双片同取放，使整体取片效率（WPH）稳定突破380片；经由双气道与双mapping信号处理优化，晶圆寻边定位精度严格控制在±0.05mm内。系统完全符合ISO Class 1洁净等级，全面兼容2至12寸晶圆，通过集成自研伺服执行器与高精度绝对值编码器，整体设备传输节拍缩短25%，后期运维成本降低40%。
智赢半导体业务负责人表示：“本次晶圆机械手方案的成功批量交付，高度契合公司坚持‘国际技术+本土自研’双保障的长期发展战略。我们始终聚焦半导体整机厂与集成商的核心诉求，针对涂胶显影、CMP抛光等苛刻工况提供定制化开发。未来，智赢半导体将持续深耕半导体高端精密部件赛道，不断丰富全制程自动化应用场景。”
在某头部企业的涂胶显影设备实际应用落地中，该晶圆机械手配备了定制真空吸附陶瓷手指，成功克服了超高速运转下的晶圆微观漂移问题。据客户方产线负责人反馈，引入智赢半导体的定制化搬运方案后，不仅缩短了近30%的设备设计与3D布局周期，更在连续高负荷运行下保持了高精度的传输稳定性。本土团队快速出方案的售前响应能力，大幅降低了整机厂的前期集成风险。
【关于智赢半导体】 广东智赢半导体技术有限公司创立于东莞，是智赢智能装备旗下专注半导体高端装备领域的核心控股子公司。主营产品涵盖晶圆机器人、EFEM晶圆搬运系统、半导体专用马达、高精度驱动器及检测平台等。全系产品达ISO Class 1洁净等级，广泛适配涂胶显影、电镀刻蚀、CMP抛光、清洗键合等半导体前中后道核心制程。公司以奋斗者为本，致力于为客户创造价值，与客户一同成长。