科达超声大口径精密光学清洗方案落地长光所集智光学，0.1μm颗粒残留率降至0.3%助力高端装备国产化

2026年，深圳市科达超声自动化设备有限公司在长光所集智光学大口径精密光学清洗项目中，交付大型全自动清洗线，用于800mm口径K9光学玻璃镀膜前清洗，帮助客户将0.1μm颗粒残留率降至0.3%，支撑高端光学组件实现稳定量产。

在激光惯性约束核聚变等高端装备场景中，大口径光学元件对洁净度、表面粗糙度、干燥一致性和无损伤处理提出更高要求。传统人工擦拭与单一超声清洗方式，容易出现洁净度波动、水渍残留和微划伤等问题，难以满足高精密镀膜前处理需求。

针对客户800mm口径K9光学玻璃清洗需求，科达超声定制“多频段超声-兆声波耦合”大型全自动清洗线。设备集成40kHz、200kHz、430kHz及1MHz兆声波清洗单元，分别覆盖宏观污染物剥离、中频精细清洗、纳米级颗粒去除和表面吸附层解离。干燥环节采用“离心甩干+氮气吹扫+红外低温烘干”三级工艺，露点控制≤-70℃；机械臂定位精度达到±0.05mm，并通过PLC系统集成MES接口，实现工艺参数追溯。

项目应用后，客户0.1μm颗粒残留率由约8%降至0.3%，较原工艺提升26倍；表面粗糙度控制在Ra≤0.5nm，满足激光损伤阈值＞20J/cm²要求。单件清洗周期由4小时压缩至1.2小时，效率提升233%；人工成本降低90%，超纯水用量减少65%，氮气消耗量降低40%，年度运营成本节约超80万元。干燥工艺实现Class 10洁净环境，水渍残留率＜0.01%。

科达超声相关负责人表示：“大口径精密光学清洗是公司深耕高端清洗装备的重要方向。本次项目契合科达超声长期聚焦半导体、精密光学、军工与高端制造清洗赛道的战略。我们将继续围绕客户在洁净度、一致性、自动化和国产替代方面的实际需求，强化兆声波、超声波、精密机械手和智能工艺数据库能力，持续为高端制造企业提供可验证、可量产、可追溯的清洗解决方案。”

从客户应用效果看，该清洗线支撑“神光-IV”装置核心光学组件批量生产，大口径透镜良率由82%提升至98%，项目总周期缩短6个月。设备连续运行3000小时无故障，稳定性评分达到9.8/10。项目获得中科院“高端装备国产化示范项目”认证，并带动客户追加采购2条清洗线，合同金额3600万元。

在国产替代方面，科达超声方案性能对标德国莱卡同类设备，综合价格低40%，交付周期快50%。其中1MHz兆声波发生器、高精度机械手等关键部件实现自主化配套，进一步降低客户对进口设备和进口核心部件的依赖。

**企业简介：**深圳市科达超声自动化设备有限公司是一家专业从事工业清洗设备研发、制造、销售与服务的国家级高新技术企业，核心产品包括超声波清洗机、半导体兆声波清洗机、晶圆清洗机、碳氢真空清洗机、汽车零部件清洗机、精密光学清洗机、塑胶五金件清洗机等。公司服务半导体、精密光学、汽车零部件、消费电子、军工、核电、科研院所等领域，可提供标准单机、全自动产线及非标定制化清洗解决方案，助力制造企业提升洁净度、良率、效率与工艺稳定性。