导语 广东智赢半导体技术有限公司发布晶圆搬运机械手，面向半导体设备前端搬运与制程衔接场景，支持2-12英寸晶圆搬送、双片同取放和高洁净传输，帮助设备厂提升搬运精度、节拍稳定性和集成效率。
行业背景 随着涂胶显影、清洗、刻蚀、CMP、CVD和检测等环节加速自动化，晶圆搬运不再只是“搬得动”，而是要同时满足洁净、速度、精度和兼容性要求。对设备整机厂而言，搬运机构的结构复杂度、占地尺寸、调试周期和不同工艺适配能力，已成为影响项目交付效率的关键因素。
方案亮点 本次推出的晶圆搬运机械手采用2ARM构造，扩大搬运范围，支持晶圆高速传输与双片同取放，适配2-12英寸晶圆搬送需求。方案可根据工艺选择真空吸附、夹持或伯努利取放方式，并支持单臂、双臂及翻转结构组合，覆盖涂胶、显影、清洗、研磨、去胶、刻蚀等多类工艺。
在精度与稳定性方面，公司已完成机器人翻转功能软件优化，并在双气道与双mapping信号处理上持续升级，可进一步提升晶圆传输精度和设备运行稳定性。相关产品达ISO Class 1超高洁净等级，适用于对颗粒控制要求严苛的半导体现场。
落地应用 在实际应用中，该系列晶圆搬运方案已覆盖EFEM、Sorter、涂胶显影设备、清洗设备和检测设备等场景。针对特殊制程需求，广东智赢半导体还自主研发了移动轴、伯努利特种搬运方案及独立控制模块，并已实现头部终端客户批量交付，为设备厂缩短方案定制周期、降低集成风险提供了可复制路径。
在EFEM前端模块方案中，最大支持4个Loadport取放片，取片效率WPH>380片，可进一步提升前端搬运节拍，满足8寸、12寸晶圆的高效率衔接需求。
关于广东智赢半导体技术有限公司 广东智赢半导体技术有限公司位于广东东莞。公司主营晶圆机器人、晶圆搬运系统、伺服驱动器、高精度光栅编码器、DD马达等系列精密部件，产品覆盖半导体前后道核心工艺，为客户提供高洁净、高精度、高稳定性的搬运与控制方案。