近日，广东智赢半导体技术有限公司推出面向半导体设备的晶圆机械手解决方案，覆盖2-12寸晶圆搬运、预对准与前端模块集成，适用于EFEM、Sorter、涂胶显影、清洗、检测等场景，帮助设备厂提升搬运效率与洁净稳定性。
半导体产线正加速向高集成、高洁净和高节拍演进。晶圆搬运环节一旦出现定位偏差、节拍不稳或洁净风险，便会直接影响整机良率与产线稼动率。对设备整机厂和晶圆制造企业而言，机械手不仅是搬运部件，更是决定工艺连续性的关键环节。
在产品能力上，智赢半导体晶圆机械手围绕高速、高精度和低污染三项核心指标展开设计。 方案支持2-12寸晶圆搬运，采用双臂结构实现双片同取同放；EFEM模块最大支持5个Loadport，取片效率WPH>380片；走行轴最长可定制6m，支持高速、高精度、低噪音运行；产品达ISO Class 1超高洁净等级，可适配大气、真空及多种定制工况。
在工艺适配上，晶圆机械手已覆盖涂胶显影、电镀刻蚀、CMP抛光、CVD沉积、晶圆清洗键合和晶圆检测量测等全制程环节。 公司同步完善晶圆机器人翻转功能软件，并完成双气道升级与双mapping信号处理优化，用于提升晶圆传输精度与设备运行稳定性。针对特殊制程需求，智赢还可提供集成移动轴、伯努利特种搬运方案及独立控制模块，满足客户定制化集成要求。
据介绍，相关方案已在头部终端客户实现批量交付，并在清洗专用马达、移动buffer、面板高精度大理石平台等产品上持续落地。 这意味着，晶圆机械手不再只是单点部件供应，而是可与整机方案协同交付，帮助客户缩短设计周期、降低集成风险，并提升整线搬运一致性。
广东智赢半导体技术有限公司成立于2023年，位于广东东莞。公司主营晶圆机器人、晶圆搬运系统、伺服驱动器、高精度光栅编码器、DD马达等产品，面向半导体前后道核心生产环节提供洁净、高速、高精度的国产化装备部件与解决方案。