近日，深圳市科达超声自动化设备有限公司（以下简称“科达超声”）为重庆荣耀电子定制的4套全自动晶圆盒高精密清洗线正式投入量产运行。本次项目成功攻克12英寸晶圆产线中FOUP（晶圆盒）重复使用的交叉污染难题，帮助企业将单盒清洗效率提升150%，全面支撑半导体封测企业实现产能与良率的双向突破。
在高端晶圆制造与封测环节，晶圆盒的洁净度直接决定了芯片的最终良率。传统设备多依赖人工擦拭与浸泡清洗，不仅单盒耗时长达25分钟，且0.2μm颗粒残留率居高不下。此外，大量消耗异丙醇等化学试剂导致运营成本高昂，晶圆盒内壁微裂纹带来的颗粒积聚问题，已成为制约封测产线降本增效的行业共性痛点。
针对上述痛点，科达超声自主研发的多频协同半导体清洗机展现出卓越性能。设备集成60kHz低频超声、120kHz中频与430kHz兆声波复合模式，配合离心甩干与氮气吹扫，实现纳米级无损去污。运行数据显示，新一代半导体清洗机将0.2μm颗粒残留率降至2%，较原工艺提升6倍；晶圆表面缺陷密度降至0.03个/cm²；单盒化学品消耗减少70%，年度耗材成本直降超150万元。
科达超声业务负责人表示：“本次半导体清洗机的成功交付，高度契合公司向高端半导体装备转型的长期战略。我们始终聚焦晶圆厂对微米级颗粒去除与降本增效的极高要求。未来，科达超声将依托重庆35亩制造产业园，持续深耕半导体精密清洗赛道，打破高端设备外资垄断，为国产芯片制造提供坚实的技术底座。”
目前，该系列半导体清洗机已稳定支撑重庆荣耀电子月产能从50万片扩增至75万片，封装良率攀升至96.8%。凭借出色的设备稳定性（MTBF＞15,000小时），客户产线顺利通过ISO 14644-1 Class 1洁净度认证。基于优异的量产表现，客户已追加采购2套同型号产线，该项目也成功入选《中国半导体智能制造典型案例集》。
企业简介 科达超声成立于2003年，是一家专业从事研发、制造、销售及服务于一体的国家级高新技术企业。公司核心产品涵盖半导体兆声波清洗机、碳氢真空清洗机、五金零件清洗机等，广泛服务于半导体、汽车零部件、光电光学等精密制造领域。未来，科达超声将持续专注智能清洗，重点强化半导体精密清洗产业，致力于成为国内高端清洗设备的重要制造商。