广东智赢半导体发布涂胶显影晶圆搬运方案，兼容4-12寸主流晶圆

在涂胶显影等前道工艺场景中，广东智赢半导体推出基于双臂 SR8220-1023 机器人的晶圆高速搬运方案，面向 EFEM、sorter、清洗和检测等设备，帮助客户在洁净环境下提升搬运稳定性与产线集成效率。

随着半导体制造向更高节拍、更高洁净度和更严苛空间布局演进，涂胶显影环节对晶圆搬运的速度、精度和一致性提出了更高要求。对于设备厂商而言，搬运单元不仅要适配多尺寸晶圆，还要兼顾真空吸附、mapping 识别和不同工位的集成需求。

本次方案采用 双臂 SR8220-1023 机器人，配合 真空吸附陶瓷手指，可兼容 4-12 寸晶圆。方案支持 对射式和反射式 mapping 配置，适用于大气环境下的晶圆高速搬运，并可延伸至涂胶显影、清洗、检测及 EFEM 前端模块等场景。

广东智赢半导体相关负责人表示，本次方案与公司长期深耕半导体高端装备零部件的战略保持一致，重点回应客户对高洁净、高精度和高兼容性的实际需求。未来，公司将继续围绕晶圆机器人、搬运系统、驱动器、编码器和精密执行部件完善产品矩阵，为更多前道工艺设备提供可快速导入的解决方案。

在实际应用中，该方案通过双臂搬运设计提升晶圆转运效率，并借助可配置的 mapping 方案增强设备对不同工艺窗口的适配能力。对于希望缩短开发周期、降低集成风险的设备厂商而言，这类模块化方案有助于提升整机稳定性，并为后续工艺扩展预留空间。

企业简介 广东智赢半导体技术有限公司坐落于广东东莞。公司主营晶圆机器人、晶圆搬运系统、伺服驱动器、高精度光栅编码器、DD 马达等特制精密部件，产品广泛应用于涂胶显影、电镀刻蚀、CMP 抛光、CVD 沉积、清洗键合、晶圆检测量测等全制程环节。