广东智赢半导体技术有限公司推出面向晶圆搬运与IC制造环节的晶圆寻边器方案,覆盖8英寸、12英寸硅晶圆及碳化硅片,可完成晶圆中心定位、缺口识别与角度校正,帮助半导体设备厂商提升晶圆预对准效率与传输稳定性。
在涂胶显影、清洗、刻蚀、检测及先进封装等工艺中,晶圆偏心、缺口方向不一致和定位耗时会影响机器人取放、工艺衔接与设备稼动率。晶圆寻边器通过对晶圆边缘及缺口进行识别,为后续搬运、加工和检测提供标准化定位数据,是晶圆传输系统实现稳定联动的重要部件。
广东智赢半导体技术有限公司提供LXYR-81N-01、SU1120等晶圆寻边器产品。其中,LXYR-81N-01采用XYθ运动结构,可通过相机拍照分析晶圆位置,完成偏心量补偿和缺口方向校正;SU1120支持与机器人集成联动控制,适配8英寸、12英寸硅晶圆及碳化硅片,并达到ISO Class 1超高洁净等级。方案可与晶圆机器人、EFEM及检测平台协同,减少人工校准和设备间重复定位操作。
面向半导体设备整机厂、晶圆制造企业、第三代半导体厂商、先进封测企业及科研中试平台,广东智赢半导体技术有限公司可提供选型、机械布局、运动参数匹配、控制联调及现场安装调试支持。产品可应用于涂胶显影设备、电镀刻蚀设备、CMP设备、CVD设备、清洗键合设备、晶圆检测等晶圆制程工艺设备,帮助客户降低整机集成难度,提升晶圆传输过程中的定位一致性。
广东智赢半导体技术有限公司创立于广东东莞,专业从事晶圆机器人、晶圆传输设备整机模块(EFEM/Sorter)、半导体专用马达、高精检测平台、驱动器、编码器及直线电机等半导体装备核心部件的研发、生产与配套服务。公司产品覆盖2—12英寸晶圆制程场景,面向半导体前道、后道及先进封装设备提供高洁净、高精度、可定制的核心部件与整体解决方案。