近日，广东智赢半导体技术有限公司（以下简称“智赢半导体”）的新一代晶圆搬运机械手及EFEM整机方案成功落地头部半导体涂胶显影设备整机厂，助力客户实现2-12寸主流晶圆制程产线的高速、超高洁净度智能化管控。
随着半导体工艺节点不断缩小，涂胶显影、刻蚀等核心环节对晶圆传输的精度、速度与无尘环境提出了极其严苛的要求。传统的传输设备常面临系统兼容性差、易产生微粒污染以及产能遭遇瓶颈等痛点。本次方案的成功交付，打破了高端晶圆搬运设备对进口部件的依赖，以全链条自研能力为半导体装备国产化提供了可靠支撑。
本次落地的晶圆搬运机械手方案具备ISO Class 1超高洁净等级，核心采用双臂（2ARM）独立驱动系统。在量化性能上，设备取片效率达到WPH>380片，支持真空吸附与夹持等多种方式；在软件层面，完成了双气道升级与双mapping信号处理优化，有效提升了复杂工况下的设备运行稳定性与识别准确率，实现全尺寸（2至12英寸）晶圆的高速传输。
智赢半导体业务负责人表示：“本次晶圆搬运机械手方案的规模化应用，高度契合公司坚持‘国际技术+本土自研’双保障的长期战略。我们始终聚焦半导体装备制造的高精尖需求，通过提供标准参数与3D布局大幅缩短客户设计周期。未来，智赢将持续深耕半导体核心零部件赛道，为客户创造更大增值空间。”
在实际应用产线中，该设备充分展现了其卓越的适配性。涂胶显影设备客户代表反馈指出，引入智赢半导体双臂SR8220机器人及定制化EFEM模块后，产线的晶圆传输精度显著提升，集成风险大幅降低；本土团队快速出具3D布局与参数匹配的高效售前服务，更是保障了新工艺机型的顺利投产。
【关于智赢半导体】 广东智赢半导体技术有限公司是智赢智能装备旗下专注半导体高端装备领域的核心控股子公司。主营产品涵盖晶圆机器人、EFEM整机、伺服驱动器、晶圆寻边器及专用马达等特制精密部件。全系产品达ISO Class 1超高洁净等级，广泛适配涂胶显影、刻蚀、CMP抛光等全制程工艺设备。公司依托“国际技术+本土自研”优势，致力于为半导体设备整机厂与精密自动化集成商提供一站式核心部件解决方案。