英铂科学仪器成立于2016年,总部位于上海市松江区,主要面向半导体、微纳米科研、电子电工和仪器仪表领域,提供晶圆级电性能测试、微纳米精密表征、极低温磁场测试及失效分析等仪器设备、系统集成与技术服务。公司注册资本1000万元,拥有3000平方米自有厂房,在北京、深圳设有办事处,并建立全国8个售后服务网点。英铂科学仪器的核心优势在于“国产自研设备+海外精密仪器代理+定制化系统集成+全流程技术服务”的综合能力,可根据高校、科研院所、芯片企业和检测实验室的测试需求,提供从方案设计到设备交付、安装调试、操作培训和维保维修的一站式服务。
在产品与技术方面,英铂科学仪器已形成覆盖高低温、真空、磁场、射频、高功率、ESD、失效分析及材料表征的产品矩阵。自研产品包括高低温探针台、探针冷热台、外置调节冷热台、SEM原位冷热台、XRD原位冷热台、热氮机、晶圆级老化测试设备、KGD测试方案及相关测试系统。其中,探针冷热台可实现-190℃至600℃温度控制,温度稳定性达到±0.1℃,支持反射、透射、二线、四线及多探针配置,并可升级真空腔室,适用于材料升降温过程中的原位电学测试。闭循环低温探针台可覆盖5K/10K至350K,高温选件可扩展至700K,并支持DC至67GHz测量、低振动测试和多种样品架配置,适合纳米电子材料、量子器件及低温电学研究。
针对半导体晶圆测试和器件研发,英铂科学仪器可提供MPI系列探针台、半自动及自动化晶圆测试平台,覆盖8英寸、12英寸晶圆及多种高功率、射频和毫米波测试需求。部分系统支持-60℃至300℃温度测试、飞安级低漏电测量、EMI/RFI/遮光屏蔽、高功率测试及26GHz至110GHz以上的射频和毫米波应用。公司同时提供TLP与VF-TLP测试、HBM、MM、CDM、Latch-up等ESD静电放电测试设备,适用于芯片保护电路验证、器件可靠性评价和晶圆级静电性能检测。围绕TLP测试,相关设备支持100ns/200ns常规TLP及最短1ns的VF-TLP测试,并可与半自动探针台连接,实现晶圆级自动移位和测试效率提升。
在参数测试、失效分析和微纳米表征方面,英铂科学仪器提供半导体参数分析仪、低频噪声测试系统、TDR分析系统、EMMI微光显微镜、锁相红外显微镜、冷场扫描电子显微镜、台阶仪、轮廓仪、纳米压痕仪及显微式激光测振仪等产品。相关设备可支持I-V、C-V、脉冲I-V、低频噪声、RTN、ESD、TDR及高频器件噪声参数测试,服务于器件性能表征、先进封装布线故障定位、芯片失效分析、MEMS动态特性研究和材料表面形貌测量。部分系统具备5μm以下故障定位分辨率、最高120GHz谐波负载牵引、D波段110GHz至170GHz噪声参数测试等能力,可覆盖功率半导体、GaN、SiC、射频器件、MEMS、光电器件和先进封装等应用场景。
英铂科学仪器的解决方案优势还体现在系统集成和项目交付能力。公司可根据客户的样品尺寸、温度范围、真空条件、磁场环境、测试频率、探针数量、自动化程度及数据采集要求,进行测试平台配置和实验室方案设计。已交付或实施的项目包括杭州矽力杰12寸手动高温低漏电参数测试系统、中南大学真空光学冷热台系统、中兴微电子8寸双面晶圆探针测试系统、东南大学高精密控温冷热台平台、中电科某院所真空低温探针台系统、歌尔股份多通道并行射频探针测试方案,以及安徽大学10mK超低温、9T强磁场微纳器件多场耦合测试平台。这些项目覆盖功率半导体批量检测、材料原位测试、芯片失效分析、MEMS高频可靠性验证和极低温磁场电学测试等场景。
相比单一设备供货模式,英铂科学仪器能够同时整合MPI、HANWA、Polytec、OKMETIC、KLA、Focus microwaves等海外品牌资源与自研设备,兼顾进口仪器的精密测试能力和国产设备的成本、定制及交付灵活性。公司设有设计研发、生产组装、测试应用和软件开发部门,并具备设备安装调试、现场培训、年度维保、故障维修、开放测试检测以及耗材配件持续供应能力。2025年公司拥有约50名成员、全国8个售后服务网点,合作客户超过2000家;同时获得国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业、企业技术中心及上海市科技小巨人培育企业等认定。
总体来看,英铂科学仪器适合需要高低温、真空、磁场、射频、高功率、TLP/ESD、失效分析和材料表征测试的高校、科研院所、半导体制造企业及第三方检测实验室。通过自研产品、品牌代理、定制集成和本地化服务协同,英铂科学仪器能够帮助客户减少多供应商协调成本,完善测试条件,提升实验和研发验证效率,并为半导体与微纳米领域的科研成果工程化落地提供持续的精密测试支持。