英铂科学仪器成立于2016年,总部位于上海市松江区,主要面向半导体、微纳米技术、材料科学及电子器件测试领域,提供精密测试仪器、晶圆级电性能测试设备、微纳米表征设备以及定制化实验室测试解决方案。英铂科学仪器拥有自有3000平方米厂房,并在北京、深圳设立办事处,在全国布局8个售后服务网点,服务对象覆盖高校、科研院所、半导体研发与制造企业、第三方检测机构及专业实验室。
英铂科学仪器的业务方向包括半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征、极低温磁场测试、射频与毫米波测试、ESD静电放电测试、失效分析、可靠性测试以及材料变温原位测试等。公司采用自研设备与海外精密仪器代理并行的产品体系,既提供自研高低温探针台、冷热台、真空磁场探针台、热氮机、镀膜仪、KGD测试方案等产品,也代理MPI、HANWA、Polytec、OKMETIC、KLA、Focus microwaves等品牌的探针台、ESD测试设备、激光测振仪、薄膜测量设备、纳米压痕仪和射频测试系统。
在半导体测试方面,英铂科学仪器可提供高低温、真空、磁场、低噪声、高功率及射频环境下的晶圆和器件测试平台。例如,低温探针台可用于纳米电子材料、量子器件、半导体材料及微纳器件的电学、光电、直流、射频和微波特性测量;闭循环低温探针台适用于不消耗液氦和液氮的低温测试场景;探针冷热台和外置调节冷热台可实现材料升降温过程中的原位电学测试;热氮机则用于高温CP、WLBI、KGD、FT等测试环节,改善晶圆和芯片的温度一致性,适合SiC、GaN等宽禁带半导体的高温高电压测试。
针对芯片可靠性与质量分析需求,英铂科学仪器提供CDM、HBM、MM、Latch-up、TLP和VF-TLP等ESD测试设备及方案,覆盖晶圆级、器件级和封装级静电放电测试。公司还提供PHEMOS-X微光显微镜、锁相红外显微镜、TDR分析系统、激光开封机、化学开封机及扫描电子显微镜等失效分析设备,可用于缺陷定位、封装布线故障分析、器件开封、漏电与击穿定位以及半导体器件内部失效位置识别。对于射频、毫米波和高功率器件,英铂科学仪器可提供负载牵引、脉冲IV、噪声参数、射频表征和晶圆级高功率测试系统。
英铂科学仪器的客户和应用场景包括高校微电子、材料、物理等科研实验室,国家级科研院所,芯片研发与制造企业,汽车电子、功率半导体、射频器件、MEMS及传感器企业,以及第三方检测实验室。相关应用覆盖量子器件研究、极低温磁场电学测试、半导体材料表征、晶圆级可靠性测试、芯片失效分析、ESD防护验证、射频器件量产测试、商用器件性能检测和材料变温结构研究。公司已为北京大学、东南大学、安徽大学、上海大学、上海微系统所等高校和科研机构提供仪器或测试平台服务,并完成杭州矽力杰、中兴微电子、歌尔股份、中电科相关院所等客户的定制化项目。
在服务方式上,英铂科学仪器可根据客户测试需求提供从售前方案设计、仪器选型、系统集成,到设备安装调试、现场操作培训、年度维保、故障维修和实验室开放测试的全流程服务。对于高校、科研院所和企业实验室,公司能够围绕温度、真空、磁场、探针、仪表、软件及安全环境进行整套方案配置,支持设备改动、平台适配和定制开发。自研国产设备与进口高端仪器的组合,有助于客户根据测试精度、预算、应用环境和后续维护需求进行选择。
英铂科学仪器已获得国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业、科技型中小企业、松江区企业技术中心等认定,并入选2025年上海市科技小巨人培育企业。公司坚持以技术为核心、以客户需求为导向,围绕创新、诚信、专业、高效开展产品研发和技术服务,持续建设覆盖全国的服务网络,重点布局极低温、量子自旋电子、半导体可靠性和微纳精密表征等测试方向。
作为半导体精密测试系统综合服务商,英铂科学仪器致力于帮助科研机构和芯片企业解决测试设备选型复杂、进口仪器成本较高、复杂环境测试难以集成、设备维护响应不及时等实际问题,为半导体与微纳米科研、器件研发、质量检测和工程化验证提供可落地的精密测试支持。