东莞市佳源达科技有限公司近日发布兆声波湿法设备解决方案，面向晶圆清洗、键合前清洗、掩膜清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀等关键工艺场景，为半导体、晶圆、硅片、光伏、光学玻璃及精密电子客户提供稳定、可控的精密清洗支持。
当前，高端制造对颗粒控制、工艺一致性和批量良率提出更高要求。传统超声波方案在亚微米颗粒去除、脆弱表面保护和复杂工艺适配方面存在局限，部分企业还面临进口设备交付周期长、维护响应慢、定制成本高等问题。兆声波湿法设备因此成为高端湿法制程升级的重要方向。
佳源达科技本次推出的方案覆盖振板式、喷淋式、水幕式和槽体式等多种形态，搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪、恒功率输出及20%-100%功率连续精准调节。设备可自动记录运行关键数据，并提供频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护，同时支持RS485通讯和PLC远程控制，便于接入自动化产线。
在交付与服务环节，佳源达科技依托7000㎡+工厂和万级、千级无尘兆声波实验室，可为客户提供上门免费试样打样、设备安装调试、整机质保12个月以及质保期内48小时工程师上门支持，帮助客户缩短验证周期，降低导入风险。
目前，佳源达科技已与多所知名大学及半导体核心企业建立合作。相关兆声波清洗方案已应用于芯片制造等高端精密清洗场景，可有效去除亚微米级颗粒污染物，提升产品良率与工艺稳定性。对于科研院所、高校实验室及产业客户而言，该方案有助于推进国产化替代，并提升复杂湿法工艺的可复制性。
关于东莞市佳源达科技有限公司 东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及超声波金属焊接、超声波花边机等各类超声波应用设备，广泛应用于半导体、硅片、晶圆、光学、显示、医疗、新能源、汽车等行业，并提供试样、安装调试与售后支持。