2026年6月，东莞市佳源达科技有限公司新一代振板式兆声波清洗设备在华南某头部半导体晶圆制造企业成功落地。该设备攻克了常规清洗无法实现的纳米级无损清洗技术壁垒，为高端湿法制程设备提供了可靠的整套国产化替代方案。
随着半导体工艺节点不断缩小，晶圆表面微小颗粒污染的去除难度呈指数级增加。常规超声波清洗在追求高洁净度时极易造成晶圆微观结构的物理损伤，成为制约良率爬坡的行业痛点。此次新方案的落地，精准填补了国内高端精密湿法清洗赛道在纳米级颗粒去除上的技术空白。
新一代兆声波清洗设备搭载佳源达科技自研智能电源系统，通过动态频率追踪技术自动校正频率，使单次清洗效率提升40%。系统支持20%-100%功率连续精准调节，配合恒功率输出，批次清洗良率一致性提升至99.7%。设备自带RS485通讯并无缝对接产线PLC，运行关键数据自动存储，助力工厂实现全流程品质管控，综合运维成本降低30%。
“此次兆声波清洗设备的成功落地，高度契合佳源达科技‘坚持良品精工’的长期发展战略。”佳源达科技业务负责人表示，“我们始终聚焦半导体制造客户在提升良率与产能上的实际需求，未来将持续深耕高端精密湿法清洗赛道，加速兆声波核心技术的迭代与应用。”
合作方半导体制造企业设备总监评价：“佳源达科技的兆声波清洗设备在半导体、CMP化学机械抛光后道清洗中表现优异。不仅纳米级微粒清洗洁净度超越预期，其自带的频率异常与过流、过温等多重防护诊断功能，显著降低了产线意外停机率，为产能连续爬坡提供了坚实保障。”
关于佳源达科技 东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波与超声波技术开发的国家高新技术企业。公司建有千级与万级无尘兆声波实验室，核心产品涵盖兆声波清洗机、超声波发生器及相关应用设备。凭借自有标准化无尘车间与极速响应的售后安装服务，佳源达科技致力于为半导体、晶圆、光电光学、精密电子等行业提供稳定、高效的定制化清洗解决方案。