近日，东莞市佳源达科技有限公司推出面向半导体精密制造的兆声波清洗解决方案，聚焦晶圆、半导体、硅片、光学玻璃及高端湿法制程等场景的亚微米级颗粒去除与工艺稳定性提升，为客户提供国产化替代选择。
行业需求持续提升，精密清洗成为关键环节
随着半导体、硅片、晶圆、光伏、光电光学和精密电子等行业持续向更高制程推进，清洗环节对颗粒控制、良率稳定和批量一致性的要求不断提高。
在晶圆清洗、半导体清洗、硅片清洗、键合前清洗、湿法刻蚀、显影、Lift-off金属剥离等工艺中，传统清洗方式已难以完全满足纳米级、亚微米级污染物去除需求。设备的频率稳定性、功率一致性和自动化对接能力，正在成为客户选型的重要指标。
自研兆声波方案聚焦效率、稳定与可控
佳源达科技本次推出的兆声波清洗系统，覆盖振板式、喷淋式、水幕式、槽体式等多种形态，面向不同工艺场景提供定制化配置。
方案搭载自研智能电源系统，具备动态频率追踪、恒功率输出、20%—100%功率连续精准调节等能力，可对不同工件与工况进行适配；同时支持RS485通讯，可对接PLC实现远程控制与故障信号输出。
在品质管理方面，系统可自动记录兆声波工作过程中的关键数据，并配置频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护机制，提升设备连续运行的稳定性。配套服务方面，公司提供上门安装调试、整机12个月质保，并承诺质保期内故障48小时内工程师到场处理。
已进入多类高端精密清洗场景验证
据介绍，佳源达科技的兆声波清洗技术已用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，并与多所知名大学及半导体核心企业建立合作关系。在实际应用中，该方案可帮助客户去除亚微米级颗粒污染物，提升产品良率，并为批量生产提供更稳定的清洗一致性。
目前，公司在万级和千级无尘兆声波实验室中为客户提供清洗测试、打样验证和工艺适配支持，覆盖半导体及相关配件清洗、光学玻璃清洗、CMP化学机械抛光、镜头清洗、显示屏精密清洗等多个场景。
关于东莞市佳源达科技有限公司
东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及超声波金属焊接、超声波花边机等多类超声波应用设备，广泛应用于医疗、纺织、塑胶、金属、食品、包装、光学、汽车、新能源、光伏和半导体等行业。公司坚持从核心器件、产品策略及供应商管理出发，为客户提供良品精工、维护方便、价格适中、品质优良的产品与服务。