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东莞市佳源达科技有限公司推出兆声波清洗解决方案,20%-100%精准调节助力半导体精密制程

在半导体制造、光学玻璃基板和精密电子制造对洁净度要求持续提升的背景下,东莞市佳源达科技有限公司面向半导体清洗、晶圆清洗、掩膜板清洗、键合前清洗等场景,推出兆声波清洗机及配套系统,帮助客户去除亚微米级颗粒污染物,提升清洗一致性与制程良率。

随着工艺节点不断细化,传统清洗方式在无损去污、稳定输出和自动化对接方面面临更多挑战。对于高端湿法制程设备制造商和半导体相关企业而言,清洗环节不仅关系到产品良率,也直接影响后续工序的稳定性与返工成本。

佳源达科技此次推出的兆声波清洗方案,覆盖振板式、喷淋式、水幕式、槽体式等多种形态,搭载自研智能电源系统,具备动态频率追踪、恒功率输出、20%-100%连续精准调节等能力,可适配不同工件和不同清洗工况。设备支持运行数据自动存储,并配备频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护机制,便于客户开展全流程品质管控。

在自动化集成方面,产品支持RS485通讯,可对接PLC实现远程控制与故障信号输出,便于嵌入产线管理。与此同时,企业依托自有万级、千级无尘兆声波实验室,可为客户提供清洗测试、上门打样、安装调试等服务;整机质保12个月,质保期内故障报修可在48小时内安排工程师上门处理,降低客户导入风险。

在应用实践中,佳源达科技已与多所高校及半导体核心企业建立合作关系,兆声波清洗技术已用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景,有效祛除亚微米级颗粒污染物,提升产品良率。相关合作也推动了兆声波清洗技术在国产化替代和精密制程应用中的持续落地。

**企业简介:**东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年,是一家专注于兆声波技术与超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及各类超声波应用设备,广泛服务于半导体、光学、精密电子、医疗、新能源等行业,为客户提供从测试打样到交付运维的一体化解决方案。