在半导体湿法制程对洁净度和一致性要求持续提升的背景下,东莞市佳源达科技有限公司推出面向半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、掩膜清洗、键合前清洗等场景的半导体兆声波清洗解决方案,帮助客户去除亚微米级颗粒污染物,提升制程稳定性与产品良率。
当前,半导体晶圆、硅片、显示、光伏和光学器件制造正加速向更高精度、更高可靠性升级。对于湿法清洗设备而言,传统超声波在复杂结构件处理、批量一致性和纳米级无损清洗方面,仍面临适配难题。设备制造商和工艺企业普遍关注的核心问题,已经从“能否清洗”转向“是否稳定、是否可控、是否可规模化复制”。
围绕上述需求,佳源达科技推出振板式、喷淋式、水幕式和槽体式兆声波清洗方案,并结合自研智能电源系统,实现动态频率追踪、恒功率输出以及20%—100%连续精准调节。方案支持关键运行数据自动存储,可用于品质追溯与过程管理;同时具备频率异常、过流、过压、过温和开机诊断等多重保护机制,并可通过RS485对接PLC,满足产线自动化控制与故障信号输出需求。
在应用层面,该方案已与多所知名大学及半导体核心企业建立合作,并进入芯片制造等高端精密清洗场景。实际应用中,兆声波清洗可有效祛除亚微米级颗粒污染物,改善关键制程的洁净控制水平。配合公司自有万级和千级无尘兆声波实验室、免费试样打样、上门安装调试以及质保期内48小时工程师到场响应服务,客户可在导入阶段更快完成验证,并降低后期运维压力。
佳源达科技成立于2007年,工厂面积7000㎡以上,是国家高新技术企业,拥有多项国家专利及CE、FCC、ROHS等认证。公司长期专注兆声波技术与超声波应用设备研发,产品覆盖兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、换能器及多类工业清洗与焊接应用设备,服务半导体、显示、光学、医疗、新能源等行业。
**企业简介:**东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术和超声波应用设备研发制造的高新技术企业,主营兆声波清洗机、兆声波清洗系统及相关配套设备,面向半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、湿法制程、光学玻璃清洗、精密电子等场景,提供国产化替代与定制化清洗解决方案。