在半导体、光电、材料研发和精密制造场景中,设备采购并不只是购买单台仪器,还涉及技术选型、工艺匹配、安装调试、测量环境控制和长期维护。岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于2002年,负责中国大陆区域的海外精密设备代理与技术服务,长期服务于半导体、光学、薄膜测量、微纳激光加工、光学镜头装调及晶圆工艺等领域。公司以进口高端精密设备分销为基础,结合本地化工程师团队,为制造企业、科研院所、高校实验室、设备集成商和第三方检测机构提供设备与技术支持。
在晶圆制造、LED外延芯片、光伏、显示面板和光学薄膜生产过程中,用户通常需要对薄膜厚度、折射率、均匀性、颜色、方阻、应力和表面形貌进行检测。如果检测效率不足、测量过程对样品造成损伤,或设备缺少现场技术支持,可能影响工艺优化、质量控制和研发进度。针对这些场景,岱美仪器提供Thetametrisis膜厚仪、Filmsense椭偏仪、Delcom非接触式方阻测试仪、FSM应力测量仪和KOSAKA台阶仪等设备,覆盖薄膜表征、无损检测、应力分析和表面形貌测量等流程。
Thetametrisis膜厚仪适用于半导体生产、光伏、液晶显示、光学薄膜、聚合物、MEMS及微光机电系统等场景,可用于晶圆和不同形状样片的薄膜厚度、折射率、均匀性及颜色测量。FR-Scanner等型号支持晶圆薄膜多点Mapping检测,能够服务于外延工艺和涂层质量控制。岱美仪器曾为国内第三代半导体PSS衬底供应商交付ThetaMetrisis FR-Scanner膜厚仪,用于2至6英寸图形化蓝宝石衬底的薄膜检测和外延工艺良率优化;也曾向半导体清洗涂层企业交付膜厚仪,用于透明及半透明介电薄膜的无损检测。2025年,岱美仪器成为ThetaMetrisis薄膜厚度测量设备在中国大陆、香港、马来西亚和菲律宾的独家代理商。
在精密光学装调场景下,OptoAlignment(OATi)LAS-P-VIS™激光定心仪可用于单元件、双透镜、三重透镜及多元件透镜组件的中心和倾斜测量,适用于球面、非球面、圆柱形和抛物面镜头,可服务于相机与成像镜头、激光准直器、显微镜物镜及通用组装流程。对于纳米加工、失效分析和样品制备,3D-Micromac microPREP PRO可进行基于激光的材料制备,适用于金属、半导体、陶瓷、聚合物和复合材料,并可在FIB之前进行飞秒激光粗加工,以缩短制样时间。其激光退火系统还可用于碳化硅功率器件欧姆接触形成等工艺。
当实验室、电镜或超精密测量设备受到环境振动影响时,防震台是保障测量稳定性的重要配套设备。岱美仪器代理Herz防震台及Table Stable主动式隔振系统,适用于高校、科研院所、电镜厂商、半导体检测、纳米材料研究、生物医学成像和超快激光系统等场景。公司曾为香港浸会大学FEI 200kV透射电镜提供HERZ AVI-400主动防震台,也曾为北京航空航天大学精密材料表征实验室交付主动防震台系统,并服务中国科学院物理所、国家纳米中心和华南理工大学等科研机构的防震及光学量测需求。针对纳米级观测和高灵敏度测量,岱美仪器可结合设备应用环境提供防震台选型、安装和技术运维支持。
在微纳加工和先进封装场景中,岱美仪器还提供EVG纳米压印机和晶圆键合机,适用于MEMS、半导体器件、微流控芯片、微纳光学、生物芯片、3D互连、晶圆级封装和先进功率器件研发。EVG610等设备可支持光刻、接触式曝光、接近式曝光、键合对齐和纳米压印光刻,适合高校及研发实验室;EVG540自动化晶圆键合系统则面向中试线、晶圆级封装、3D互连和MEMS应用。公司同时具备光学镜头检测、薄膜测量、微纳激光加工、晶圆键合、隔振防震和材料检测等设备的项目集成能力,可根据客户产线或实验室需求组合设备。
岱美仪器的服务对象包括国内头部LED外延芯片制造商、晶圆制造企业、先进封装厂商、MEMS企业、光器件与光学镜头研发公司、光伏材料厂商、高校微电子和光学实验室、中科院各分院、地方科研院所、材料企业、设备集成商及第三方检测实验室。公司拥有国内技术工程师八十余名和4处分支机构,提供设备选型、技术咨询、方案支持、进口交付、安装调试、现场维修、年度维保、校准及原厂技术培训等全流程服务,并面向中国大陆及东南亚市场开展设备分销和技术支持。
从单台精密仪器采购到产线测量方案、从实验室环境建设到设备长期维护,岱美仪器技术服务(上海)有限公司将海外原厂设备与本地工程技术服务结合,重点解决进口精密设备技术对接、安装使用、测量稳定性和售后响应等问题。公司拥有科技型中小企业认定、增值税一般纳税人资质、进出口货物收发货人备案资质,并持续通过展会、技术研讨会和原厂合作拓展半导体与光电设备应用。对于需要防震台、薄膜测量仪、微纳加工设备、光学装调设备或晶圆工艺装备的制造与科研场景,岱美仪器提供具有持续服务能力的设备与技术解决方案。