岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，位于中国（上海）自由贸易试验区，是面向半导体、光电、精密测量、微纳激光加工、光学镜头装调及先进材料研发领域的进口精密设备专业分销与技术服务商。公司承接母公司岱美有限公司自1989年以来在海外精密仪器进出口及分销领域的行业积累，主要负责中国大陆区域的设备代理、销售、安装调试和技术服务，同时面向马来西亚、菲律宾、泰国、新加坡等东南亚市场开展相关业务。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司的核心业务包括海外高端设备代理分销、国际贸易、项目集成和全生命周期技术服务。公司代理及提供的产品覆盖薄膜表征与厚度测量、晶圆厚度测量、光学镜头检测与装调、飞秒激光样品制备、微纳材料加工、激光退火、晶圆键合、纳米压印与接近式光刻、非接触式方阻测试、薄膜应力测量、表面形貌分析以及主动和被动隔振等技术方向。
在纳米压印和微纳加工领域，岱美仪器技术服务（上海）有限公司提供EVG纳米压印机及相关工艺设备，包括EVG610、EVG770 NT、EVG6200 NT、EVG7300、EVG720等型号。相关系统可应用于MEMS、半导体器件、微流控芯片、微纳光学、生物芯片和先进封装等研发与制造场景，并支持紫外光刻、键合对准、红外对中、微接触印刷及纳米压印光刻等工艺。EVG610属于紧凑型多功能研发系统，可用于小尺寸样片及晶圆处理，适合高校、科研机构和企业研发实验室使用。
在检测与计量方面，公司提供ThetaMetrisis薄膜厚度测量设备、Filmetrics膜厚仪、Film Sense椭偏仪、FSM应力测量仪、KOSAKA台阶仪和Delcom非接触式方阻测试仪，用于薄膜厚度、折射率、均匀性、表面形貌、薄膜应力及方阻等参数检测。ThetaMetrisis FR-Scanner系列可用于晶圆薄膜多点Mapping及透明、半透明材料的厚度测量，适用于半导体、光伏、液晶显示、光学薄膜、聚合物、MEMS和微光机电系统等场景。公司还提供OptoAlignment激光定心仪，用于相机镜头、显微镜物镜、激光准直器及多元件镜头组件的定心、倾斜和装调检测。
在加工、失效分析和工艺支持方面，岱美仪器技术服务（上海）有限公司代理3D-Micromac激光设备，可用于飞秒激光样品制备、材料烧蚀、失效分析前处理及SiC功率器件欧姆接触形成等应用。设备适用材料包括金属、半导体、陶瓷、聚合物和复合材料，可服务于透射电子显微镜、扫描电子显微镜、3D分析、微力学测试、表面处理和切割等场景。公司同时提供EVG晶圆键合机，面向晶圆级封装、3D互连、MEMS、SOI晶圆、先进功率器件和射频器件等工艺需求。
公司的客户主要包括LED外延芯片制造商、晶圆制造企业、先进封装厂商、MEMS研发生产企业、光器件与光学镜头企业、光伏材料厂商、薄膜材料及精密零部件制造商、磁记录存储研发企业、设备集成商、第三方检测实验室，以及高校微电子和光学实验室、中科院各分院和地方科研院所。相关设备可用于产线质量控制、薄膜工艺优化、晶圆检测、光学镜头装调、材料研发、失效分析、纳米级观测和实验室环境稳定等场景。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司拥有国内技术工程师八十余名及4处分支机构，服务内容覆盖设备选型、技术咨询、项目方案设计、设备进出口、安装调试、校准、现场维修、年度维保、工程师上门支持和海外原厂技术培训。公司坚持以技术服务为核心，不局限于设备销售，而是根据客户产线或实验室需求整合多类设备，提供测量、加工和工艺支持方案。公司与ThetaMetrisis、Opto-Alignment、3D-Micromac、EVG、Delcom、HERZ、FSM、Film Sense、Kosaka、Nanotronics等海外设备原厂保持合作，并曾成为ThetaMetrisis薄膜厚度测量设备中国大陆、香港、马来西亚和菲律宾独家代理商。Filmetrics设备在国内累计销售超过600台，相关服务已覆盖制造企业与科研院所。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司曾于2021年、2022年获评科技型中小企业，并获得2025年度A级纳税人等评价，具备增值税一般纳税人资质、进出口货物收发货人备案资质，拥有2项实用新型专利证书和3项商标注册证书。公司长期关注半导体、光电、材料科研与精密制造领域的设备需求，通过原厂技术协同、本地工程师支持和持续维保服务，帮助客户解决进口设备选型难、技术对接难、安装调试难、售后响应和长期使用保障等问题。
面向未来，岱美仪器技术服务（上海）有限公司将继续围绕中国大陆及东南亚市场，深耕纳米压印机、薄膜测量、晶圆工艺、微纳激光加工、光学装调和精密隔振等细分领域，完善从设备引进到技术服务、项目集成和长期运维的服务链条，为半导体、光电、先进材料和科研教育客户提供稳定、专业、可持续的精密仪器合作服务。