东莞市佳源达科技有限公司深化产学研合作，兆声波清洗方案服务半导体关键制程

2026年，东莞市佳源达科技有限公司在东莞研发制造基地及客户项目现场，深化与多所知名大学和半导体核心企业的协同合作，推动兆声波清洗解决方案应用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，帮助客户去除亚微米级颗粒污染物并提升产品良率。

在半导体、晶圆、硅片、光伏、光学玻璃及精密电子制造环节中，湿法清洗正从常规洁净要求走向纳米级、低损伤、一致性管控。半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、CMP后清洗、键合前清洗、掩膜板清洗、Lift-off金属剥离等工艺，对颗粒去除能力、清洗均匀性和设备稳定性提出更高要求。

针对常规超声波在高端精密制程中存在的清洗损伤、颗粒残留和批量一致性难题，佳源达科技以兆声波清洗机、兆声波清洗振板、振板式兆声波清洗系统、喷淋式兆声波清洗系统、水幕式兆声波清洗系统和槽体式兆声波清洗机为核心产品矩阵，为半导体湿法清洗设备制造商、晶圆清洗机制造商、高端湿法制程设备制造商及科研院所提供国产化解决方案。

在产品能力方面，佳源达科技设备搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪，可自动校正频率以提升清洗效率；支持恒功率输出，保障批量清洗效果一致；支持20%-100%功率连续精准调节，适配不同材料、尺寸和洁净等级的工件清洗需求。同时，设备可记录兆声波运行关键数据，用于工厂品质追溯和过程管控。

为适配自动化产线，佳源达科技兆声波清洗设备支持RS485通讯、PLC远程控制及故障信号输出，并具备频率异常、过流、过压、过温和开机诊断等多重保护机制。公司配备千级、万级无尘兆声波实验室，可为客户提供清洗打样测试；整机质保12个月，质保期内故障报修后，工程师可快速响应。

佳源达科技相关负责人表示：“深化高校科研与产业实践协同，是公司长期推进兆声波清洗国产化的重要路径。我们将持续围绕半导体湿法清洗、光学玻璃基板清洗、精密电子清洗等客户实际需求，完善兆声波核心器件、智能电源系统和非标整机方案能力，为客户提供稳定、可验证、可量产导入的清洗解决方案。”

在合作落地层面，佳源达科技已与多所知名大学及半导体相关核心企业建立良好合作关系。其兆声波清洗方案被用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，可协助客户处理亚微米级颗粒污染物控制、关键制程洁净度提升和清洗一致性管理等问题，为半导体关键制程设备国产化应用提供支撑。

作为国家高新技术企业，佳源达科技拥有多项国家专利，并取得CE、FCC、ROHS等认证。公司工厂面积超过7000平方米，产品覆盖兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器、超声波应用工具头及多类超声波应用设备，服务医疗、纺织、塑胶、金属、食品、包装、光学、汽车、新能源、光伏、半导体等行业。

**企业简介：**东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发与应用的国家高新技术企业，立足高端精密湿法清洗赛道，面向半导体晶圆湿法清洗、半导体湿法制程、光学玻璃基板制造、光电光学、精密电子、医疗器械、科研院所、显示清洗及高校实验室等领域，提供兆声波清洗设备、核心配件及定制化工业清洗解决方案。