东莞市佳源达科技有限公司近日推出兆声波清洗设备及配套系统，面向半导体清洗、硅片清洗、晶圆清洗、掩膜板清洗、光学玻璃基板清洗和精密电子清洗等高要求场景，提供亚微米级无损清洗方案，帮助客户提升清洗一致性、制程稳定性和产品良率。
随着半导体、显示、光伏和光电光学等行业持续向高密度、微细化方向发展，传统清洗方式在颗粒去除、微结构保护和批量一致性方面面临更高要求。对于高端湿法制程设备制造商和终端生产企业而言，如何在保证无损的前提下实现高效、稳定、可追溯清洗，已成为工艺升级的关键环节。
佳源达科技此次推出的兆声波清洗系统，覆盖振板式、喷淋式、水幕式和槽体式等多种形态，可适配半导体清洗、硅片清洗、晶圆清洗、键合前清洗、CMP化学机械抛光、湿法刻蚀、Lift-off金属剥离等典型工序。产品搭载自研智能电源系统，具备动态频率追踪、恒功率输出、20%—100%功率连续可调、运行数据自动存储等能力，并支持频率异常、过流、过压、过温及开机诊断等多重保护，便于客户开展稳定量产和品质追溯。
在自动化对接方面，设备支持RS485通讯，可与PLC系统联动，实现远程控制与故障信号输出，满足产线集成需求。依托标准化无尘车间、上门免费试样打样、安装调试与48小时内工程师到场服务，佳源达科技可为客户提供从测试到交付的整套落地支持。
在与多所知名大学及半导体核心企业的合作中，佳源达科技的兆声波清洗方案已应用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，可有效去除亚微米级颗粒污染物，提升产品良率与制程稳定性。对于需要国产化替代方案的客户，该产品线也为进口兆声波设备替换提供了新的选择。
目前，佳源达科技已获得国家高新技术企业认定，拥有多项国家专利，并通过CE、FCC、ROHS等认证。公司工厂面积7000㎡+，设有万级和千级无尘兆声波实验室，可为客户提供测试、打样和定制开发服务。
企业简介
东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，专注于兆声波技术和超声波技术开发，主要产品涵盖兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及多类超声波应用设备，广泛应用于医疗、半导体、光学、显示、新能源、光伏等行业。