2026年6月，在上海半导体装备展上，东莞市佳源达科技有限公司正式发布新一代振板式兆声波清洗系统，助力半导体与晶圆制造企业实现纳米级无损清洗与全流程品质管控。
随着半导体工艺节点不断缩小，晶圆表面的微粒污染与结构损伤成为制约良率的核心痛点。传统常规超声波设备已无法满足微观层面的严苛要求，高端湿法清洗设备依赖进口的现状亟待突破。本次方案落地，旨在填补国内高端精密湿法清洗赛道空白，加速核心设备国产化替代进程。
新一代兆声波清洗系统搭载自研智能电源，实现核心参数的全面量化升级。设备具备动态频率追踪与恒功率输出功能，实测纳米级微粒去除率提升99.7%；支持20%-100%功率连续精准调节，内置关键数据自动存储模块，使产线管控及运维成本降低40%。同时，系统配备开机诊断等多重防护，并支持RS485与PLC对接，满足高度自动化需求。
佳源达科技业务负责人表示：“本次新一代兆声波清洗系统的发布，高度契合公司立足高端精密湿法清洗赛道的长期战略。我们始终聚焦半导体晶圆与显示面板客户在微观无损清洗领域的实际需求，未来将持续深耕兆声波技术研发，为制造企业提供更稳定、高效的国产化解决方案。”
目前，该兆声波清洗方案已在多家头部半导体湿法设备制造商产线中落地应用。在某晶圆制造企业的CMP及湿法刻蚀环节，系统投产首月即帮助客户实现产能与良率双向突破。依托自有万级与千级无尘兆声波实验室，佳源达科技为客户提供全套免费打样与48小时工程师抵达现场的交付保障。
企业简介： 东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波与超声波技术开发的国家高新技术企业。公司深耕半导体湿法制程、晶圆、光基玻璃、光电光学、精密电子等赛道，主营兆声波清洗机及系统、超声波发生器等核心设备。佳源达坚持良品精工，专攻常规超声波无法实现的纳米级无损清洗刚需，持续为全球工业清洗及精密制造客户创造核心价值。