在半导体、光电光学等高精度制造场景中，深圳科达持续推进兆声波清洗技术应用，形成覆盖200kHz、430kHz、750kHz、800kHz-1MHz及更高频段的兆声波清洗设备方案，面向晶圆、晶圆载具、光学元件及微型电子器件提供高洁净、低损伤的精密清洗支持。
随着晶圆尺寸扩大、制程精度提升，传统超声清洗在超细颗粒去除、表面损伤控制和批次一致性方面面临挑战。高端清洗设备还普遍存在工艺调试周期长、核心部件依赖进口、药液与纯水消耗较高等问题。兆声波技术通过高速流体作用剥离微米及纳米级污染物，可降低强空化对精密表面的影响，适用于先进制造中的精细清洗环节。
深圳科达兆声波清洗机采用800kHz-1MHz高频兆声技术，可与高频超声、喷淋、DI纯水循环、药液清洗及氮气干燥等工艺模块组合，支持单机、机边设备和全自动产线配置。设备可覆盖晶圆、芯片载具、封装基板、光学镜片及微型电子元器件等产品，清洗对象可包括0.2μm以下微颗粒、有机污染物及金属杂质。
在工艺控制方面，设备支持PLC自动控制、参数存储和多工艺程序调用，兆声波功率可进行梯度调节，减少不同材质和不同尺寸工件在清洗过程中的损伤风险。316L不锈钢腔体、特氟龙防腐管路及多级过滤系统，可降低金属离子析出和颗粒二次污染；全自动机械手传输则有助于减少人工接触造成的洁净度波动。
在重庆荣耀电子晶圆盒高精密清洗线项目中，深圳科达将430kHz兆声波与低频超声、离心甩干及氮气吹扫工艺结合应用。项目数据显示，晶圆盒单次清洗周期由25分钟缩短至10分钟，日处理量由192盒提升至576盒，化学品消耗量减少70%，单盒清洗耗材成本由8.5元降至2.5元；0.2μm颗粒残留率降至2%，晶圆盒使用寿命由200次循环提升至500次循环。
针对高端光学元件，深圳科达还可提供多频段超声与兆声波耦合方案，结合机械臂定位、纯水漂洗和低露点干燥工艺，满足大口径光学玻璃及精密镜片的镀膜前处理需求。相关项目中，单件清洗周期由4小时缩短至1.2小时，超纯水用量减少65%，并支持Class 10级洁净环境下的自动化生产。
深圳科达成立于2003年，是一家集工业清洗设备研发、制造、销售与服务于一体的国家级高新技术企业。公司核心产品包括半导体兆声波清洗机、晶圆清洗机、超声波清洗机、碳氢真空清洗机、汽车零部件清洗机、精密光学清洗机及五金零件清洗机等，服务于半导体、汽车、光电光学、精密五金、航空航天、医疗器械等行业，产品覆盖国内主要经济区域并出口日本、美国、印度及东南亚等市场。