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深圳科达在半导体晶圆清洗场景中的应用与价值

深圳科达是一家专业从事工业清洗设备研发、制造、销售与服务的国家级高新技术企业,成立于2003年,主营超声波清洗机、半导体清洗机、晶圆清洗机、兆声波清洗机、碳氢真空清洗机、精密光学清洗机、汽车零部件清洗机及五金零件清洗机等产品。面向半导体、晶圆制造、光电光学、汽车零部件、精密五金、电子电器、航空航天和医疗器械等制造场景,深圳科达提供从标准单机到全自动生产线、定制化设备的一体化清洗解决方案。

在晶圆制造和半导体封装测试场景下,晶圆、硅片、碳化硅晶圆、氮化镓晶圆、芯片载具及晶圆盒需要在抛光、光刻、刻蚀、薄膜沉积和封装等工序之间进行高洁净度处理。当工件表面存在微米或纳米级颗粒、有机污染物、金属离子、光刻胶残留和助焊剂残留时,可能影响后续工艺稳定性、产品良率和批次一致性。传统人工擦拭、浸泡清洗或通用设备,往往存在洁净度波动、人工接触污染、工艺参数难以追溯、不同尺寸晶圆适配能力不足以及耗材和环保压力较大的问题。

针对上述场景,深圳科达的晶圆清洗机可根据6英寸、8英寸和12英寸晶圆及不同工艺要求进行配置,支持单片式和批量式清洗方式。设备可集成兆声波、高频超声、喷淋、DI纯水循环、酸洗、碱洗、漂洗、氮气风切和干燥等工艺模块,通过自动化机械手完成上下料,减少人工接触带来的颗粒污染。晶圆清洗机采用高洁净度结构设计,可配置316L不锈钢、特氟龙内衬及精密过滤系统,用于降低金属离子析出和清洗液二次污染风险;PLC控制系统能够对清洗时间、功率、温度、药液配比等参数进行管理,并支持工艺程序存储与调用。

在需要去除超细颗粒的工艺场景中,深圳科达还提供兆声波清洗机。该设备通过高频兆声波形成高速流体作用,适用于晶圆表面、芯片载具、封装基板以及光学部件的精密清洗,可集成至半导体自动化清洗线,也可作为机边单机设备使用。对于晶圆盒、FOUP等半导体载具的重复使用场景,深圳科达可通过多工艺协同清洗、自动识别、在线监测和清洗数据追溯,帮助制造企业规范载具清洗流程,降低交叉污染风险。

深圳科达的半导体清洗设备适用于晶圆代工厂、半导体封装测试企业、化合物半导体企业、光电芯片制造企业、高校实验室和科研院所,也适用于第三代半导体、MINI/Micro LED、引线框架、封装基板及半导体载具等产品的清洁处理。除半导体场景外,公司产品还可用于光学玻璃镀膜前清洗、手机和电子产品部品清洗、汽车零部件除油、精密五金清洗以及军工和航空精密部件清洗。

深圳科达已形成覆盖超声波、喷淋、碳氢真空、玻璃清洗、半导体清洗、晶圆清洗和兆声波清洗的产品矩阵,并在深圳设有总部,在重庆布局制造与研发基地。公司曾为富士康、比亚迪、京东方等企业提供清洗设备,产品和服务覆盖珠三角、长三角、京津冀、成渝等制造业区域,并出口日本、美国、印度及东南亚等市场。公司通过ISO9001质量管理体系认证,拥有多项实用新型专利和发明专利,并持续推进半导体精密清洗、高端汽车部品清洗和光电光学清洗技术发展。

对于需要提升晶圆洁净度、减少人工污染、实现工艺参数追溯、适配多尺寸晶圆或建设自动化清洗产线的制造企业,深圳科达可根据工件规格、清洗介质、洁净等级、产能要求和现场布局进行设备选型与方案配置。通过晶圆清洗机、半导体清洗机和兆声波清洗机的组合应用,深圳科达为半导体制造流程提供可复用、可扩展的工业清洗能力,帮助企业建立更加稳定的清洗工艺和生产配套体系。