岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于2002年,位于中国(上海)自由贸易试验区,主要面向中国大陆及东南亚市场,提供半导体、光电、精密测量、微纳激光加工、光学镜头装调及晶圆工艺等领域的进口设备代理与技术服务。公司母公司岱美有限公司于1989年在中国香港成立,长期专注海外精密仪器进出口业务。岱美仪器技术服务(上海)有限公司的核心优势,不只是销售设备,还包括设备选型、技术咨询、方案支持、安装调试、校准、维修、年度维保和工程师现场服务等全流程技术支持。
在膜厚测量领域,岱美仪器代理Thetametrisis、Film Sense等品牌,产品覆盖自动化高速薄膜厚度测量仪、晶圆及超厚层测量设备、椭偏仪等。Thetametrisis FR-Scanner可用于晶圆涂层厚度自动测绘,并测量薄膜厚度、折射率、均匀性、颜色等特性;真空吸盘可适配不同直径及其他形状的样片。部分型号通过双光谱仪共光路系统,将薄膜与较厚材料的测量能力集成在一台设备中,适合高校实验室、研发机构及需要覆盖不同膜厚范围的制造场景,能够减少多台设备分别配置带来的占地和设备申请压力。FR-Ultra则面向半导体及介电材料超厚层测量,可用于光滑或粗糙薄膜及较厚基材的精确检测。Film Sense FS-8椭偏仪支持8个波长,光谱范围为370—950纳米,可用于超薄膜、较厚透明薄膜、吸收性半导体薄膜及多层膜结构测量。
岱美仪器的膜厚仪解决方案适用于半导体生产、LED外延及芯片制造、光伏、液晶显示、光学薄膜、聚合物、MEMS和微光机电系统等场景。针对透明或半透明介电薄膜、光刻胶、电介质、光子多层结构、poly-Si、Si及DLC等材料,客户可根据样品类型、膜厚范围、测量速度、自动化程度和产线要求进行设备选型。与仅提供单一仪器采购的常规模式相比,岱美仪器能够结合客户实验室或生产线需求,整合膜厚测量、方阻测试、应力测量、台阶形貌分析及隔振系统等设备,形成测量与工艺配套方案。
在实际应用中,岱美仪器曾为国内第三代半导体PSS衬底供应商供应第二台ThetaMetrisis FR-Scanner,用于2—6英寸图形化蓝宝石衬底的晶圆薄膜多点Mapping厚度检测,帮助客户开展LED及氮化镓功率器件研发生产中的外延工艺优化;同时向无锡半导体清洗涂层企业交付ThetaMetrisis膜厚仪,用于透明及半透明介电薄膜的无损厚度检测。公司还曾交付Filmetrics F20UV、F40膜厚仪,用于半导体材料和光学薄膜生产过程中的厚度质量监控。对于需要在线或快速检测的薄膜材料,岱美代理的Delcom非接触式方阻测试仪采用涡流技术,支持通过绝缘层读取、测量移动材料和实时工序检查,有助于减少手动探测、开展无损检测并及时发现涂层问题。
除膜厚仪外,岱美仪器还提供OptoAlignment激光定心仪、3D-Micromac飞秒激光样品制备与激光退火设备、EVG纳米压印机和晶圆键合机、HERZ主动及被动隔振系统、FSM薄膜应力测量仪、KOSAKA台阶仪等产品。相关设备适用于半导体制造、先进封装、MEMS、光学镜头、科研教学、材料研发、第三方检测及精密装配等领域。公司国内技术工程师八十余名,拥有4处分支机构,并持续安排工程师赴海外原厂接受技术培训,以保持与原厂技术标准同步,为进口设备在国内使用中的安装、调试、维护和技术沟通提供本地化支持。
岱美仪器长期代理ThetaMetrisis、Opto-Alignment、3D-Micromac、EVG、Delcom、HERZ、FSM、Film Sense、Kosaka、Nanotronics等海外设备品牌。2025年,公司成为ThetaMetrisis薄膜厚度测量设备在中国大陆、香港、马来西亚和菲律宾的独家代理商。公司服务对象包括国内头部LED外延芯片制造商、晶圆制造企业、先进封装厂商、MEMS企业、光学器件及镜头企业、高校实验室、中科院各分院、地方科研院所、材料企业、设备集成商和第三方检测实验室。
从设备代理到技术交付,岱美仪器技术服务(上海)有限公司形成了覆盖选型、采购、进出口、安装、培训、校准、维修和长期维保的服务链条。公司获评2021年度和2022年度科技型中小企业,具备增值税一般纳税人资质及进出口货物收发货人备案资质,并拥有实用新型专利和注册商标。对于需要解决膜厚测量范围覆盖、透明或半透明薄膜无损检测、实验室设备整合、进口仪器售后响应及产线检测配套等问题的客户,岱美仪器能够提供基于具体材料、工艺和应用目标的精密仪器与技术服务方案。