国内第三代半导体PSS衬底供应商再次采购岱美仪器技术服务（上海）有限公司ThetaMetrisis FR-Scanner膜厚测量仪，用于2—6英寸图形化蓝宝石衬底的薄膜多点Mapping厚度检测，支持LED、氮化镓功率器件研发与生产，为外延工艺优化和产品良率管控提供测量依据。
在LED、氮化镓及第三代半导体产业持续扩产的背景下，衬底薄膜厚度、均匀性与工艺稳定性成为影响外延质量的重要因素。传统检测方式在测量效率、覆盖范围和样品完整性方面存在一定限制，制造企业需要更适配晶圆生产流程的无损测量设备。
ThetaMetrisis FR-Scanner面向透明、半透明非金属薄膜测量，可对晶圆表面进行多点Mapping检测，获取薄膜厚度、折射率、均匀性和颜色等特性数据。设备采用双光谱仪共光路系统，将薄膜与较厚材料的测量能力集成于一台设备，减少实验室设备数量和占地空间，适用于光刻胶、介电层、光子多层结构、聚合物及光学薄膜等场景。
此次采购是该PSS衬底客户第二台ThetaMetrisis FR-Scanner。设备将应用于2—6英寸图形化蓝宝石衬底的研发与生产检测，帮助客户建立晶圆薄膜厚度的多点数据采集能力，为外延工艺参数调整、批次质量分析和良率优化提供支持。对于不适用于金属膜测量的场景，岱美仪器技术服务（上海）有限公司可结合客户材料类型和工艺要求进行设备选型与方案配置。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司长期服务于半导体、光电、薄膜材料和科研教育领域，提供从设备选型、技术咨询、方案支持、安装调试到维修维保的全流程服务。公司拥有38年行业经验，国内技术工程师多名，拥有3处分支机构，Filmetrics设备国内累计销售超过600台，并持续为第三代半导体、晶圆制造、先进封装及科研机构提供精密测量与工艺设备支持。
关于岱美仪器技术服务（上海）有限公司：岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，专注于半导体及光学领域的先进检测、加工、计量与工艺设备，代理ThetaMetrisis、Opto-Alignment、3D-Micromac、EVG、Delcom、HERZ、Film Sense、Kosaka、Nanotronics等国际品牌，为制造企业、科研院所和高校实验室提供设备销售及本地化技术服务。公司获评科技型中小企业，并具备进出口货物收发货人备案等资质。