在近期举办的高端湿法制程设备行业论坛上，东莞市佳源达科技有限公司正式发布新一代半导体兆声波清洗系统，助力半导体晶圆设备及掩膜板清洗机制造商实现纳米级无损清洗的核心组件国产替代。
随着半导体晶圆制造向更先进制程演进，微小颗粒物污染已成为制约良率的关键痛点。常规超声波在清洗精密元器件时易造成结构损伤，佳源达科技此次推出的兆声波清洗方案，有效解决了传统工艺下的微观损伤难题，展现了在高端精密湿法清洗赛道的前瞻布局。
该清洗系统搭载企业自研智能电源系统，实现20%-100%功率的连续精准调节，全面适配晶圆、半导体、半导体相关配件以及CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗等多种严苛工况。设备内置动态频率追踪与恒功率输出技术，清洗一致性显著增强；自带RS485通讯接口无缝对接PLC控制，关键运行数据自动存储，助力工厂实现全流程的品质自动化管控。
“此次新一代兆声波清洗系统的落地，高度契合公司立足高端精密湿法清洗赛道的长期战略。”佳源达科技业务负责人表示，“我们始终聚焦半导体客户在良品率和全自动管控方面的实际需求，未来将持续深耕半导体湿法制程领域，以良品精工为客户创造更大价值。”
目前，该方案已在多家半导体晶圆芯片设备制造商及高校实验室成功应用。依托公司万级和千级无尘兆声波实验室，佳源达为客户提供免费上门打样与测试评估。在实际产线运行中，设备凭借频率异常、过流、过温等多重防护机制保持高位稳定；配合整机质保一年、故障48小时内工程师抵达现场的服务承诺，有效保障了客户产线的连续运转。
关于佳源达科技 东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波与超声波技术开发的国家高新技术企业。公司拥有7000余平方米标准化厂房，核心产品涵盖兆声波清洗系统、超声波发生器及相关应用设备。凭借多项国家专利及CE、FCC、ROHS认证，公司产品广泛服务于半导体、光电光学、精密电子等行业，致力于为全球客户提供优质的超声与兆声波解决方案。