东莞市佳源达科技有限公司推出兆声波清洗解决方案，助力半导体湿法清洗实现国产化替代

2026年，东莞市佳源达科技有限公司面向半导体及配套零件清洗、晶圆与硅片清洗、光学玻璃基板、精密电子等高端湿法制程场景推出兆声波清洗解决方案，聚焦纳米级无损清洗需求，助力设备制造商提升清洗一致性、自动化管控能力与国产化配套能力。

随着半导体、显示、光伏、精密电子等行业对制程洁净度和良率稳定性的要求持续提高，传统超声波清洗在微小颗粒去除、复杂表面保护和批量一致性方面面临更高挑战。半导体及配套零件清洗、晶圆与硅片清洗、CMP后清洗、键合前清洗、掩膜板清洗、湿法刻蚀和Lift-off金属剥离等工序，正在推动清洗设备向高频化、精细化、可监控化方向升级。

佳源达兆声波清洗解决方案覆盖振板式兆声波清洗系统、喷淋式兆声波清洗系统和水幕式兆声波清洗系统，适配半导体及配套零件清洗、晶圆与硅片清洗、玻璃基板、光电光学、精密电子及科研实验室等应用场景。系统搭载自研智能电源，支持动态频率追踪，可自动校正频率；采用恒功率输出，保障批量清洗效果一致；功率支持20%-100%连续精准调节，便于匹配不同材质、结构和洁净度要求的清洗工况。

在品质管控和自动化集成方面，该系统可记录兆声波运行关键数据，支持清洗过程追溯和工厂品质管理。设备配备频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护机制，并支持RS485通讯、PLC远程控制和故障信号输出，帮助客户将兆声波清洗模块接入自动化湿法设备产线，降低现场调试和长期运维难度。

东莞市佳源达科技有限公司相关负责人表示：“兆声波清洗是公司长期深耕高端精密湿法清洗赛道的重要方向。我们围绕半导体湿法清洗设备制造商、晶圆清洗机厂商和科研院所的实际需求，持续完善从核心器件、智能电源到整套清洗系统的产品能力。未来，公司将继续聚焦兆声波清洗国产化替代和高端制程场景落地，为客户提供稳定、可集成、可验证的清洗解决方案。”

目前，佳源达科技已建设万级和千级无尘兆声波实验室，配备完整兆声波清洗测试条件、检测仪器和专用包装设备，可为客户提供清洗试样打样。公司同时提供上门进场安装、设备调试指导和整机12个月质保服务；质保期内故障报修后，工程师可在48小时内抵达现场处理，保障客户项目从验证、导入到量产应用的连续推进。

**企业简介：**东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业，拥有多项国家专利，并通过CE、FCC、ROHS等认证。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及多类超声波应用设备，服务于半导体、光伏、显示、光学、医疗、汽车、新能源、精密电子及高校科研等领域。公司坚持良品精工，围绕核心器件、产品策略和供应链管理，为客户提供简单易用、维护方便、品质稳定的兆声波清洗与超声波应用解决方案。