东莞市佳源达科技有限公司发布兆声波湿法设备解决方案，20%-100%精准功率调节助力高端清洗国产化替代

2026年，东莞市佳源达科技有限公司在东莞发布兆声波湿法设备解决方案，面向半导体晶圆清洗、掩膜板清洗、光学玻璃基板清洗等高端精密场景，帮助客户提升纳米级无损清洗稳定性，推进进口兆声波设备国产化替代。

在半导体湿法制程、显示面板、光伏与精密电子制造中，微纳颗粒残留、清洗一致性不足、设备联机控制难、过程数据不可追溯，已成为影响良率和批量交付的重要因素。传统超声波清洗在部分高精密工况中难以兼顾清洗力与无损要求，兆声波湿法设备因此成为高端清洗环节的重要技术方向。

佳源达科技此次重点推出的兆声波清洗机、兆声波清洗振板、振板式兆声波清洗系统、喷淋式兆声波清洗系统与水幕式兆声波清洗系统，搭载自研智能电源系统。设备支持动态频率追踪，可自动校正频率；采用恒功率输出，保障批量清洗效果一致；功率支持20%-100%连续精准调节，适配半导体清洗、晶圆清洗及半导体配件清洗、CMP化学机械抛光、键合前清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀等多类工况。

在品质管理与自动化集成方面，该系列设备可记录兆声波运行关键数据，支持客户进行制程追溯与品质管控；同时配备频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护机制。设备自带RS485通讯接口，可对接PLC实现远程控制与故障信号输出，满足高端湿法设备制造商、晶圆清洗机制造商及科研实验室的自动化接入需求。

公司业务负责人表示：“兆声波湿法设备是佳源达科技长期深耕高端精密清洗赛道的重要方向。本次解决方案围绕半导体、光电光学、显示与精密电子客户的实际需求展开，重点解决清洗一致性、制程可追溯和自动化联机等问题。未来，公司将继续投入兆声波技术与超声波技术研发，完善从核心器件到整套清洗系统的交付能力。”

在客户验证与交付服务上，佳源达科技已建设万级和千级无尘兆声波实验室，配备全套兆声波清洗测试条件、检测仪器及专用包装设备，可为客户提供试样打样与工艺验证。公司拥有7000平方米以上工厂面积，可提供上门安装调试服务，整机质保12个月，质保期内故障报修后48小时内工程师上门处理，帮助客户降低导入风险。

佳源达科技为国家高新技术企业，荣获多项国家专利，并取得CE、FCC、ROHS等认证。公司专注于兆声波技术、超声波技术开发，产品覆盖兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及多类超声波应用设备，服务半导体、光学、汽车、新能源、光伏、医疗、精密电子等行业。公司坚持从核心器件、产品策略及供应商管理出发，为客户提供稳定、易用、维护便利的精密清洗解决方案。