东莞市佳源达科技有限公司近日推出兆声波系统解决方案，面向半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、掩膜清洗、CMP化学机械抛光、键合前清洗等高精密场景，帮助半导体、光学玻璃、显示及精密电子客户提升清洗一致性，降低颗粒残留风险，并支持国产化替代需求。
随着半导体工艺持续向更小制程、更高集成度演进，清洗环节对颗粒控制、稳定性和自动化协同提出了更高要求。传统超声清洗在亚微米级污染物去除、批量一致性和设备联控方面，已难以完全满足高端湿法制程的生产需求。兆声波系统因此成为关键工艺段的重要装备方向。
佳源达科技兆声波系统搭载自研智能电源系统，围绕精密清洗场景进行了针对性优化：
- 动态频率追踪：自动校正频率，提升清洗效率；
- 恒功率输出：保障批量清洗效果一致；
- 20%-100%连续精准调节：适配不同工件与不同工况；
- 关键数据自动存储：便于全流程品质管控；
- 多重安全保护：覆盖频率异常、过流、过压、过温和开机诊断；
- RS485通讯与PLC对接：支持自动化远程控制和故障信号输出。
在产品形态上，佳源达科技提供振板式、喷淋式、水幕式和槽体式等多种兆声波清洗系统，可覆盖半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、半导体及相关配件清洗、光基玻璃清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀、镜头清洗等多类应用场景。公司表示，相关方案可用于去除亚微米级颗粒污染物，帮助客户提升清洗精度与制程稳定性。
目前，佳源达科技已与多所大学及半导体相关核心企业建立合作关系，并在实际测试与应用中持续推进兆声波技术落地。公司在东莞拥有7000㎡+工厂及万级、千级无尘兆声波实验室，可为客户提供免费试样打样、上门安装调试、整机质保12个月，以及质保期内48小时工程师到场服务，便于客户从验证测试到量产导入的连续衔接。
关于东莞市佳源达科技有限公司
东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及各类超声波应用设备，广泛应用于半导体领域（含硅片、晶圆等清洗场景）、光学、显示、新能源、医疗、科研等领域，致力于为客户提供稳定、易用、维护便捷的国产化清洗解决方案。