东莞市佳源达科技有限公司推出半导体兆声波清洗方案，聚焦精密无损清洗与国产替代

近日，东莞市佳源达科技有限公司面向半导体湿法清洗场景推出兆声波清洗解决方案。 方案围绕半导体清洗、半导体配套零件清洗、晶圆清洗、光基玻璃、硅片、掩膜清洗、CMP、键合前清洗、去胶和湿法刻蚀等工艺，帮助客户在纳米级精密清洗中提升一致性，并推动高端清洗设备国产化替代。

随着半导体、显示、光伏和光学制造向更小线宽、更高良率演进，清洗环节对颗粒控制、工艺稳定性和自动化对接提出更高要求。 传统超声波清洗在部分高精密材料和复杂工况下存在适配边界，设备厂商更需要可定制、可验证、可对接产线的兆声波方案。

佳源达科技本次方案搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪、恒功率输出、20%至100%连续精准调节，并可通过RS485通讯对接PLC实现远程控制和故障信号输出。 同时，方案支持频率异常、过流、过压、过温和开机诊断等多重保护，便于批量设备保持长期稳定运行。依托万级和千级无尘兆声波实验室，公司可为客户提供上门免费试样打样、安装调试和工艺验证服务。

佳源达科技相关负责人表示， 公司长期聚焦半导体湿法清洗与精密制造场景，持续完善兆声波清洗系统、超声波发生器和换能器等核心产品矩阵。后续将围绕客户在清洗一致性、设备稳定性和产线自动化方面的实际需求持续迭代，推动更多国产设备在高端工艺场景中落地。

面向晶圆清洗机制造商、高端湿法制程设备制造商、显示与光学清洗设备企业，佳源达科技可按工况提供振板式、喷淋式和水幕式兆声波清洗方案。 公司自有工厂面积7000㎡以上，整机质保12个月，质保期内故障48小时内工程师到场解决，为设备导入和批量交付提供配套支持。

企业简介

东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注兆声波技术和超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器等，广泛应用于半导体、光学、医疗、新能源、显示等领域，拥有多项国家专利及CE、FCC、ROHS认证，致力于为客户提供稳定可靠的精密清洗解决方案。