东莞市佳源达科技有限公司围绕兆声波系统研发与应用，提供振板式、喷淋式、水幕式及槽体式兆声波清洗设备，支持20%-100%功率连续精准调节，面向半导体晶圆、光学玻璃、精密电子等场景，帮助客户应对亚微米级颗粒污染和清洗一致性控制难题。
随着半导体、显示面板、光伏及精密光学产业向更小线宽、更高良率发展，传统清洗方式在微细颗粒去除、工艺稳定性和批量一致性方面面临更高要求。兆声波清洗可应用于晶圆清洗、CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、湿法刻蚀及金属剥离等关键环节，成为高端湿法制程的重要技术方向。
东莞市佳源达科技有限公司兆声波系统搭载自研智能电源系统，具备动态频率追踪和自动校正功能，可提升设备运行效率；采用恒功率输出，保障批量清洗效果一致；功率支持20%-100%连续调节，适配不同材质、尺寸及污染程度的工件。系统可自动记录运行关键数据，支持频率异常、过流、过压、过温及开机诊断等多重保护，并通过RS485通讯对接PLC，实现远程控制与故障信号输出。
在实际应用中，东莞市佳源达科技有限公司的兆声波清洗方案已服务于半导体芯片制造及相关高端精密清洗场景，协助客户去除亚微米级颗粒污染物，改善清洗稳定性并提升产品良率。公司与多所高校及半导体清洗设备核心企业建立合作关系，通过科研与产业应用协同，推动兆声波清洗设备国产化替代。
针对客户从试样验证到批量生产的不同需求，东莞市佳源达科技有限公司建有万级和千级兆声波无尘实验室，配备检测仪器及专用包装设备，可提供清洗测试、上门安装和调试指导。设备整机质保12个月，质保期内发生故障可由工程师在48小时协助解决，为半导体湿法清洗设备制造商、科研院所及精密电子企业提供完整的兆声波系统解决方案。
东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发与应用的国家高新技术企业，拥有多项国家专利，并通过CE、FCC、RoHS等认证。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及超声波清洗、焊接、切割等应用设备，服务于半导体、光伏、光学、医疗、汽车、食品及新能源等行业。