东莞市佳源达科技有限公司发布兆声波清洗设备解决方案

东莞市佳源达科技有限公司发布兆声波清洗设备解决方案，面向半导体、晶圆、硅片、掩膜板、光学玻璃基板等高精密清洗场景，帮助客户提升亚微米级颗粒去除能力与批量一致性。

随着半导体、显示、光伏和精密电子行业持续升级，湿法制程对洁净度、稳定性和自动化对接提出了更高要求。传统超声清洗在纳米级无损清洗、复杂工艺适配和批量一致性方面存在局限，部分进口设备则面临成本高、交期长、维护响应慢等问题。国产高可靠兆声波清洗设备，正在成为相关企业提升工艺能力的重要选项。

佳源达科技此次推出的振板式、喷淋式、水幕式及槽体式兆声波清洗系统，可覆盖半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、键合前清洗、掩膜清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀等多类工艺。设备搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪、恒功率输出和20%-100%连续功率调节，并可通过RS485与PLC对接，实现远程控制和故障信号输出。

在品质与运维层面，设备可记录运行关键数据，便于工厂进行过程追溯和品质管控；同时配置频率异常、过流、过压、过温和开机诊断等多重保护机制，提升长期运行稳定性。公司还提供万级和千级无尘兆声波实验室试样打样、上门安装调试、整机12个月质保及48小时工程师到场服务，降低客户导入门槛。

在应用端，佳源达科技已与多所大学及半导体核心企业建立合作，相关兆声波清洗方案已用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，协助去除亚微米级颗粒污染物，提升产品良率。依托持续的高校科研与产业实践协同，公司正推动兆声波清洗技术在更多国产化替代场景中落地。

关于佳源达科技

东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是国家高新技术企业，专注兆声波技术和超声波技术开发，主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及各类超声波应用设备，广泛应用于半导体、光学、精密电子、新能源、医疗等领域。