2026年，东莞市佳源达科技有限公司围绕半导体兆声波清洗需求，持续推进兆声波清洗机、振板式兆声波清洗系统、喷淋式兆声波清洗系统等产品在晶圆清洗、半导体清洗、硅片清洗、CMP后清洗、键合前清洗等场景落地，助力半导体客户实现亚微米级颗粒污染物去除与精密制程稳定管控。
在半导体制造向更高集成度、更精细线宽演进的背景下，湿法清洗环节对颗粒去除能力、工件表面损伤控制和批量一致性提出更高要求。传统超声波清洗在部分高精密场景中难以兼顾清洗效率与无损需求，半导体设备制造商、晶圆清洗机厂商及科研院所对国产化、高稳定性兆声波清洗方案的需求持续提升。
佳源达科技面向半导体兆声波清洗场景，形成振板式、喷淋式、水幕式、槽体式等多形态产品矩阵。设备搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪、恒功率输出与20%-100%连续精准功率调节，可根据晶圆、掩膜板、光学玻璃基板、微小元器件等不同工件特性匹配清洗工况。
在品质管理方面，佳源达兆声波清洗系统可记录设备运行关键数据，便于客户进行制程追溯与批量清洗一致性管理。系统同时具备频率异常、过流、过压、过温、开机诊断等多重保护机制，并支持RS485通讯、PLC远程控制及错误信号输出，可接入自动化产线及湿法制程设备。
目前，佳源达科技已与多所高校及半导体相关核心企业建立合作关系，兆声波清洗方案应用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，用于协助去除亚微米级颗粒污染物，提升关键制程清洁度与产品良率稳定性。依托高校科研与产业实践协同，佳源达持续推动兆声波清洗技术的国产化应用升级。
为降低客户导入成本，佳源达科技建设有万级和千级无尘兆声波实验室，配备兆声波清洗测试设备、检测仪器与专用包装设备，可为客户提供清洗打样测试。针对工业客户，企业提供上门安装调试服务，整机质保12个月；质保期内设备故障报修后，工程师可在48小时内到达现场处理。
企业简介：东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业，工厂面积超过7000平方米。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及多类超声波应用设备，服务半导体、光学、光伏、新能源、医疗、精密电子、科研院所等领域。企业已获得多项国家专利，并具备CE、FCC、ROHS等认证，致力于为客户提供稳定可靠的高端精密湿法清洗解决方案。