导语 2026年，东莞市佳源达科技有限公司围绕半导体与高端精密制造的湿法清洗需求，推出兆声波湿法设备解决方案，覆盖半导体清洗、晶圆清洗、硅片清洗、CMP、键合前清洗、掩膜清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀、镜头清洗和显示屏精密清洗等场景，帮助客户提升亚微米级污染物去除能力和工艺一致性。
行业背景 随着半导体晶圆制程持续细化，光学、显示和精密电子器件对洁净度与无损清洗的要求不断提高，传统超声清洗在均匀性、稳定性和批量一致性方面面临更高挑战。市场对国产化、高一致性、可追溯、可自动化联动的兆声波湿法设备需求持续增长。
方案亮点 佳源达科技本次推出的兆声波湿法设备，覆盖振板式、喷淋式、水幕式和槽体式等多种形态。设备搭载自研智能电源系统，支持动态频率追踪、恒功率输出和20%-100%连续功率调节，可适配不同工件与工艺窗口。
同时，设备可记录关键运行数据，便于产线品质管理；并配置频率异常、过流、过压、过温和开机诊断等多重保护机制，提升长期运行稳定性。产品还支持RS485通讯及PLC远程控制，可对接自动化产线，实现故障信号输出与远程管理。
在交付与服务方面，公司依托7000㎡+工厂和万级、千级无尘兆声波实验室，可为客户提供免费试样打样、上门安装调试、整机质保12个月及质保期内48小时工程师现场处理服务。
落地应用 目前，佳源达科技已与多所大学及半导体相关核心企业建立合作关系。相关兆声波清洗方案已应用于半导体芯片制造等高端精密场景，可有效去除亚微米级颗粒污染物，帮助客户提升产品良率，并为国产兆声波设备替代提供了可验证的应用路径。
企业简介 东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，专注于兆声波技术与超声波技术开发，是国家高新技术企业，拥有多项国家专利及CE、FCC、ROHS等认证。公司主营兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及各类超声波应用设备，广泛应用于半导体、光学、医疗、新能源、显示及精密电子等领域。