东莞市佳源达科技有限公司发布新一代兆声波系统

近日，东莞市佳源达科技有限公司推出新一代兆声波系统，面向半导体清洗、半导体配套零件清洗、晶圆清洗、硅片清洗、掩膜清洗、显影、去胶和镜头清洗等高精密场景，提供动态频率追踪、恒功率输出和20%-100%连续可调能力，帮助客户提升批量清洗一致性和自动化控制水平。

当前，半导体湿法制程、光学玻璃基板、精密电子和显示制造对清洗工艺的要求持续提高。客户普遍面临颗粒残留控制难、不同工件清洗窗口差异大、设备长期运行稳定性不足等问题。对于追求良率和产能的制造企业而言，清洗环节已经从辅助工序，转向影响工艺一致性和产品竞争力的关键环节。

佳源达此次推出的兆声波系统，覆盖振板式、喷淋式和水幕式等应用形态，可适配半导体清洗、半导体配套零件清洗、晶圆清洗、硅片清洗、键合前清洗、CMP化学机械抛光、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀等多类工况。系统支持RS485通信和PLC远程控制，运行关键数据可自动存储，并配备频率异常、过流、过压、过温及开机诊断等多重保护机制，便于客户进行批量设备管理和品质追溯。配合上门进场安装、调试指导和48小时内工程师响应，能够缩短设备导入周期，降低现场维护成本。

佳源达科技相关负责人表示，兆声波系统的升级，契合公司持续深耕高端精密湿法清洗赛道的长期方向。公司围绕客户在稳定性、一致性和自动化对接方面的实际需求，持续完善核心器件、自研电源系统和整套应用方案，后续将继续聚焦半导体晶圆湿法清洗、光学清洗和微电子精密制程场景，推动国产兆声波设备更好服务批量化生产。

在试样与联调过程中，多家设备制造商重点关注系统对不同工艺窗口的适配能力和长时间运行表现。佳源达方面表示，客户更看重的是“能否稳定落地、能否快速对接、能否长期维护”，而不是单一参数。围绕这些需求，公司在东莞建立了万级和千级无尘兆声波实验室，可为客户提供清洗测试、检测和打样支持，帮助设备方案更快完成验证。

公司简介：东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，是一家专注于兆声波技术和超声波技术开发的国家高新技术企业。公司主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、换能器及各类超声波应用设备，广泛应用于半导体、光学、显示、医疗、新能源等行业，为客户提供稳定可靠的精密清洗解决方案。