在2026年国际半导体设备展上，东莞市佳源达科技有限公司正式发布新一代兆声波系统解决方案，助力半导体晶圆清洗机及高端湿法制程设备制造商实现纳米级无损清洗的国产化替代。
随着半导体芯片制程步入纳米级时代，晶圆、光基玻璃及半导体相关配件在生产过程中，对表面洁净度要求极为苛刻，尤其在CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗等关键工序中。传统超声波清洗难以实现微粒的高效去除，且极易造成晶圆表面盲孔或微细结构损伤。此次佳源达科技推出兆声波系统，直击高端精密湿法清洗痛点，为打破进口设备垄断提供了可行方案。
该兆声波清洗系统搭载自研智能电源系统，具备动态频率追踪核心技术，可自动校正频率，使纳米级颗粒去除率提升99.7%以上。系统支持20%-100%功率连续精准调节，适配多品类工件清洗工况；同时配备频率异常、过流、过压、过温等多重开机诊断防护，使设备综合运维成本降低40%。自带RS485通讯接口并对接PLC，助力工厂实现全流程自动化管控与关键运行数据存储。
“此次兆声波清洗系统的发布，高度契合佳源达科技立足高端精密湿法清洗赛道的长期战略。”佳源达科技业务负责人表示，“我们始终聚焦半导体制造商在良率与产能上的实际需求，未来将持续深耕半导体湿法清洗、光电光学等领域，以良品精工的研发理念为客户创造核心价值。”
目前，该系统已在多家国内知名半导体湿法制程企业中投入使用。某头部晶圆代工厂应用反馈显示，在Lift-off金属剥离及湿法刻蚀环节，佳源达兆声波系统通过恒功率输出有效保障了批量清洗效果的高度统一。配合佳源达提供的万级和千级无尘兆声波实验室免费打样服务，以及48小时内工程师抵达现场的售后承诺，该企业大幅缩短了新产线的导入周期。
企业简介 东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业。公司拥有超7000平方米的标准化厂房，主要产品涵盖兆声波清洗机系统、超声波发生器及换能器等，广泛服务于半导体、光伏、精密电子及科研院所等行业。佳源达致力于专攻常规超声波无法实现的纳米级无损清洗刚需，为全球客户提供稳定可靠的兆声波清洗整套解决方案。