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深圳市世纪天源仪器有限公司提供德国布鲁克白光干涉仪,助力半导体与精密制造实现非接触三维形貌检测

深圳市世纪天源仪器有限公司面向半导体、先进封装、PCB、光学、MEMS及精密制造企业提供德国布鲁克BRUKER白光干涉仪,利用白光干涉原理开展非接触式三维表面形貌测量,帮助客户量化表面粗糙度、台阶高度、平面度、曲率及薄膜厚度等关键参数,降低微小结构检测中的样品损伤与测量误差风险。

随着芯片封装尺寸持续缩小、精细线路不断发展,传统接触式或单点检测方式在脆弱样品、微结构和大面积表面测量中面临效率、重复性及样品保护等挑战。白光干涉测量能够在不接触样品的条件下获取区域级三维形貌数据,为工艺优化、质量控制和失效分析提供更直观的依据。

德国布鲁克白光干涉仪具备亚纳米级垂直分辨率,可进行全程非接触扫描,减少对芯片、薄膜、微结构及软质材料的划伤和挤压。设备采用面扫描方式,一次获取整片区域的三维形貌,并可输出粗糙度Sa、台阶高度、平面度、曲率、缺陷深度及体积磨损量等数据,测量指标满足ISO 25178相关要求。白光短相干特性还能够降低环境杂散光干扰,便于观察划痕、凹坑和微结构缺陷。

在半导体与先进封装领域,该方案可用于晶圆CMP抛光粗糙度、晶圆翘曲、BGA微凸点高度与共面度、TSV硅通孔深度、RDL及光刻沟槽形貌检测。在PCB与载板领域,可用于精细线路、FPC金手指台阶高度、板面粗糙度和板材翘曲测量;在MEMS、传感器、光学元件及3C电子领域,则可用于微结构三维轮廓、蚀刻深度、镜片面形曲率、盖板玻璃划痕与凹坑等检测。

深圳市世纪天源仪器有限公司不仅提供设备销售,还可结合客户样品、检测指标和实验室条件提供技术咨询、设备租赁、维修维护及实验室配套服务,帮助客户建立从工艺研发、来料检验到失效分析的形貌检测能力。对于需要解决微小缺陷难以量化、接触测量易损伤样品或单点检测代表性不足等问题的企业,白光干涉仪可提供非接触、区域化和数据化的检测方案。

深圳市世纪天源仪器有限公司成立于2011年,主营环境试验设备、振动试验设备、精密测量与光电产品、电力电子测试测量产品及相关技术服务,聚焦电子、半导体、新能源、PCB等行业。公司是中国印制电路行业协会(CPCA)会员和HKPCA会员企业,提供进口高端测试仪器的销售、租赁、维修维护、技术咨询及实验室规划配套服务,并在国内多个城市设有营业网点。