近日，东莞市佳源达科技有限公司面向半导体湿法清洗、光学玻璃基板清洗等高端制程场景，推出兆声波系统解决方案，帮助客户提升亚微米级颗粒去除能力，增强批量清洗一致性与产线自动化水平。
当前，半导体清洗、硅片清洗、晶圆清洗、键合前清洗、掩膜清洗、湿法刻蚀等工艺对洁净度、稳定性和无损处理提出更高要求。常规清洗方式在处理微小颗粒、复杂结构和高精度表面时，往往面临效率不足、批次波动和联控难度高等问题。兆声波系统由此成为高端湿法制程设备升级的重要方向。
佳源达科技此次推出的兆声波系统方案，覆盖振板式、喷淋式、水幕式、槽体式等多种应用形态，支持动态频率追踪、恒功率输出和20%-100%连续精准功率调节。系统可记录运行关键数据，便于品质追溯与工艺管理；同时配备频率异常、过流、过压、过温及开机诊断等多重保护，提升长期运行稳定性。
在自动化集成方面，该方案支持RS485通信与PLC远程控制，可对接工厂现有产线，实现清洗设备联动和故障信号输出，满足半导体、光电光学、精密电子等行业的自动化管理需求。对于需要稳定控制清洗强度、兼顾良率与效率的客户而言，该系统可为高标准湿法制程提供更灵活的国产化选择。
在与多所大学及半导体相关核心企业的协同测试中，佳源达科技的兆声波清洗方案已应用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景，可有效去除亚微米级颗粒污染物，为后续工序稳定性和产品良率提供支持。公司同时提供上门试样、安装调试与售后响应服务，质保期内故障支持48小时工程师到场处理，进一步降低客户导入与运维成本。
企业简介
东莞市佳源达科技有限公司成立于2007年，位于东莞市，是一家专注于兆声波技术与超声波技术开发的国家高新技术企业。公司拥有7000㎡以上工厂及万级、千级无尘兆声波实验室，主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、换能器及超声波应用设备，广泛服务于半导体、光学、显示、新能源、医疗、科研等领域。