英铂科学仪器(上海)有限公司近日围绕MPI探针台代理业务,面向高校科研院所、半导体芯片研发与制造企业,推出覆盖8英寸、12英寸及300mm晶圆的精密测试方案,支持DC、CV、脉冲IV、RF/mmW、高功率及变温测试,帮助客户提升晶圆级表征效率与测试一致性。
晶圆级测试正在从单一电学测量,转向低噪声、高功率、宽温域和高频并行表征。随着先进封装、功率半导体、MEMS与射频器件持续迭代,测试系统不仅要“测得准”,还要“切换快、损伤小、可复现”。这也对探针台的屏蔽能力、自动化水平和平台兼容性提出更高要求。
英铂科学仪器代理的MPI探针台产品,覆盖TS2000-SE、TS3000-SE、TS2500、TS2000-HP等多个系列,可支持26GHz至110GHz及以上射频/毫米波测量,温度范围覆盖**-60°C至300°C**,高功率测量最高可达10kV/600A(脉冲)。其中,ShielDEnvironment™屏蔽环境可降低EMI/RFI干扰,提升低噪声、低漏电测试稳定性;部分平台支持1μm级重复定位与薄至50μm晶圆装载,适用于失效分析、可靠性验证与工艺开发。
在应用落地上,英铂科学仪器已为中兴微电子搭建8寸双面晶圆探针测试系统,用于芯片失效分析;为歌尔股份搭建多通道并行射频探针测试方案,用于MEMS声学芯片高频可靠性验证。面向科研场景,公司也为北京大学、东南大学、安徽大学、上海大学及上海微系统所等单位提供测试平台支持,覆盖低温、磁场耦合、量子器件和微纳结构表征等需求。
依托MPI海外高端仪器代理能力,英铂科学仪器已在北京、深圳、苏州等地设立服务节点,全国共有8个售后服务网点,并拥有3000平方米厂房和集成制造能力。公司可提供从方案选型、设备集成、安装调试到培训维保的一站式服务,帮助客户缩短导入周期,降低设备切换和维护成本。
企业简介
英铂科学仪器(上海)有限公司成立于2016年,专注于半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征及极低温磁场测试设备的代理、集成与技术服务。公司融合自研与海外优质仪器资源,面向高校科研院所、半导体企业和第三方检测机构提供一站式精密测试解决方案。