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英铂科学仪器国产探针台覆盖多温区测试场景,服务超2000家客户

英铂科学仪器面向高校、科研院所、半导体企业及检测实验室,提供国产探针台及晶圆级电性能测试整体方案,产品覆盖低温、高温、真空、磁场和射频等场景,累计服务合作客户超过2000家,帮助用户降低进口设备依赖,提升复杂器件测试的适配效率。

随着功率半导体、量子器件、微纳材料和先进封装等领域持续发展,客户对晶圆级电学测试提出了更高要求。传统测试设备往往存在采购成本高、交付周期长、定制响应慢以及售后服务半径有限等问题,国产探针台需要同时满足温度控制、低噪声、真空环境、多探针配置和多仪器协同等要求。

英铂科学仪器已形成以自研温控探针台为核心、兼容海外高端仪器资源的产品矩阵。其中,探针冷热台支持-190℃至600℃温度范围,温度稳定性可达±0.1℃,并支持反射、透射、气密及真空测试模式;闭循环低温探针台可覆盖5K/10K至350K,高温选件可扩展至700K,支持DC至67GHz测试,样品台振动小于1μm。针对晶圆级老化、功率器件高温高压、射频器件及极低温磁场耦合测试,英铂科学仪器还可提供探针台、源表、射频仪器、温控系统和软件的集成方案。

在客户应用方面,英铂科学仪器已为杭州矽力杰搭建12英寸高温低漏电参数测试系统,用于功率半导体晶圆高温电学参数批量检测;为中兴微电子搭建8英寸双面晶圆探针测试系统,用于芯片失效分析;为安徽大学建设极低温磁场耦合探针测试平台,实现10mK超低温、9T强磁场条件下的微纳器件多场耦合测试。针对不同样品尺寸、测试频段和环境条件,英铂科学仪器可提供从方案设计、设备交付到安装培训和维保服务的一站式支持。

英铂科学仪器是半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征及极低温磁场测试设备综合服务商,拥有自有3000平方米厂房和全国8个售后服务网点。公司具备国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业、松江区企业技术中心及上海市科技小巨人培育企业等资质,持续通过国产自研设备与全球优质仪器资源整合,为高校、科研院所、芯片企业和检测实验室提供精密测试整体解决方案。