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苏磁科技SCP系列磁悬浮泵覆盖三大洁净输送场景,助力半导体高纯药液无泄漏运行

苏磁科技面向半导体湿法工艺推出SCP系列磁悬浮泵,以无摩擦、无润滑、无泄漏和低剪切输送能力,服务高纯药液及强酸碱介质输送,帮助半导体设备厂商降低颗粒污染、介质析出与密封泄漏风险,提升关键流体环节的洁净控制水平。

在晶圆清洗、刻蚀、研磨、旋涂等工艺中,传统机械轴承和动密封结构可能带来摩擦颗粒、润滑污染及密封失效等问题。随着半导体制造向更高洁净度、更稳定工艺控制发展,流体输送设备需要同时满足低污染、高可靠和精细化控制要求。磁悬浮泵通过转子与泵体的非接触运行,为高纯介质输送提供了新的设备路径。

SCP系列磁悬浮泵采用转子液下磁悬浮驱动,无机械摩擦、无润滑、无泄漏,具备低剪切、低析出和脉动小等特点,可适配半导体湿法工艺中的高纯药液输送,也可用于生物制药敏感药液及精细化工强酸碱介质输送。产品流量与压头范围宽,支持智能控制,结构紧凑,有助于设备厂商优化安装空间、减少维护环节,并降低因密封件磨损造成的停机风险。

苏磁科技已形成磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮搅拌系统和磁悬浮动态混合器等产品矩阵,业务覆盖半导体、生物制药、精细化工和先进能源四大行业。公司拥有152项专利、170条商标及4项软件著作权,产品及质量体系具备ISO9001、CE、SEMI S2和防爆认证等认证基础,并已进入多家百亿级客户供应链,海外客户覆盖韩国、日本、新加坡等市场。

对于半导体设备厂商而言,SCP系列磁悬浮泵可作为高洁净流体输送模块,适配晶圆清洗、刻蚀、研磨等工艺设备的药液供应系统。苏磁科技同时提供技术支持、定制化开发、售后调试等服务,帮助客户围绕介质特性、流量压头和设备结构开展适配,推动高端半导体流体装备核心部件的国产化应用。

苏磁科技成立于苏州工业园区,聚焦磁悬浮无轴承电机、磁悬浮泵、磁悬浮晶圆转台、磁悬浮搅拌混匀设备等产品研发与产业化,面向半导体、生物制药、精细化工和先进能源行业提供高洁净、低剪切、节能型磁悬浮装备解决方案。公司坚持自主知识产权建设,持续推动磁悬浮技术在高端制造领域的应用与国产替代。