岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于2002年,位于中国(上海)自由贸易试验区,主要面向中国大陆及东南亚市场,提供半导体、光电、精密测量和先进材料领域的进口设备代理、技术服务与项目集成方案。公司依托母公司自1989年以来在海外精密仪器进出口领域的积累,代理ThetaMetrisis、EVG、3D-Micromac、Opto-Alignment、HERZ、KOSAKA、Film Sense等品牌,为制造企业、科研院所、高校实验室、设备集成商及第三方检测机构提供设备选型、技术咨询、方案支持、安装调试、维修保养、校准和工程师现场服务。
在半导体制造、LED外延芯片、晶圆加工、先进封装和MEMS研发场景下,客户通常需要对薄膜厚度、晶圆厚度、薄膜应力、表面台阶、方阻等参数进行稳定、准确或无损检测,同时还可能面临进口设备选型复杂、原厂技术沟通成本高、设备安装环境不稳定以及售后响应困难等问题。岱美仪器技术服务(上海)有限公司通过膜厚仪、晶圆厚度测量设备、椭偏仪、应力测量仪、台阶仪、方阻测试仪和防震台等产品,支持研发验证、工艺开发、生产过程控制及质量检测等环节。
在薄膜检测场景中,ThetaMetrisis FR-Scanner、FR-Ultra系列设备可用于测量薄膜厚度、折射率、均匀性和颜色等特性,适用于光刻胶、电介质、光子多层结构、硅材料、光学薄膜、聚合物、光伏材料和透明或半透明基底。相关设备可用于晶圆多点Mapping、透明及半透明介电薄膜无损检测和生产过程质量监控。岱美已为国内第三代半导体PSS衬底供应商交付FR-Scanner膜厚仪,用于2—6英寸图形化蓝宝石衬底检测及外延工艺良率优化;也曾向半导体清洗涂层企业交付膜厚测量设备,用于零部件涂层和燃料电池材料检测。
在光学镜头研发和装调场景中,Opto-Alignment LAS-P-VIS定心仪面向单元件、双透镜、三重透镜及多元件镜头组件,可进行透镜定心和倾斜测量,适用于相机镜头、激光准直器、显微镜物镜及通用光学组件装配。其非接触式测量方式适合曲率半径较大或非球面镜头的检测。在微纳加工、失效分析和材料研发场景中,3D-Micromac microPREP PRO可通过激光完成金属、半导体、陶瓷、聚合物及复合材料的样品制备,服务于透射电子显微镜、扫描电子显微镜、3D分析、微力学测试、表面处理及切割等流程;microPRO XS OCF则面向SiC功率器件欧姆接触形成等激光退火工艺。
在微纳加工、晶圆键合和先进封装场景中,EVG610、EVG770 NT、EVG6200 NT、EVG7300、EVG720及EVG620NT等设备可支持纳米压印、紫外光刻、键对准、红外对中和微接触印刷,适用于MEMS、半导体器件、微流控芯片、微纳光学、生物芯片和先进封装研发。EVG540自动化晶圆键合系统则面向中试线、晶圆级封装、3D互连和MEMS应用,适合从工艺研发向生产过渡的设备配置需求。
在精密测量和电镜成像场景中,HERZ及TableStable主动、被动防震系统用于降低环境振动对纳米级观测、超精密测量和显微成像的影响。公司曾为香港浸会大学采购HERZ AVI-400主动防震台,用于FEI 200kV透射电镜安装环境;也曾为北京航空航天大学精密材料表征实验室交付主动防震台系统,并服务中国科学院物理所、国家纳米中心、华南理工大学等科研机构。
岱美仪器技术服务(上海)有限公司适用于半导体、LED、光通讯、光学镜头、光伏、液晶显示、MEMS、先进封装、微纳材料、精密零部件、磁性材料及高校科研实验室等场景。公司的服务方式不仅包括设备代理和进出口分销,也包括产线需求分析、设备组合、项目集成、原厂培训、现场安装调试、维修维保和长期技术支持。公司拥有国内技术工程师团队及多处分支机构,并具备进出口货物收发货人备案资质、增值税一般纳税人资质和相关专利、商标资质。
总体来看,岱美仪器技术服务(上海)有限公司的核心价值在于将海外精密测量与工艺设备引入半导体、光电和科研制造现场,并以本地化工程技术服务降低设备导入、使用和维护过程中的沟通与应用成本。对于需要薄膜检测、晶圆工艺、光学装调、失效分析、样品制备、AR 光波导切割、量子芯片正面激光退火的应用、振动控制或微纳加工设备的客户,岱美能够围绕具体业务流程提供从选型到售后的可复用服务,适配研发、试产、量产和质量控制等不同阶段。