英铂科学仪器成立于2016年,总部位于上海市松江区,所属行业为电子电工、仪器仪表,主要面向半导体、微纳米科研及相关检测领域提供精密测试仪器、设备代理、系统集成和技术服务。英铂科学仪器以半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征、极低温磁场测试为主要业务方向,服务对象包括高校、科研院所、半导体研发与制造企业、第三方检测机构及专业实验室。
英铂科学仪器的核心业务围绕探针台及配套测试系统展开,产品覆盖高低温探针台、冷热台、真空探针台、磁场探针台、晶圆级老化测试设备、KGD测试方案、热氮机以及相关测试仪器。公司同时代理MPI、HANWA、Polytec、OKMETIC、KLA、Focus microwaves等海外仪器品牌,形成国产自研设备与进口精密仪器并行的产品体系。通过探针台、源表、脉冲IV、射频与毫米波、ESD、TDR、显微分析及材料表征设备的组合,英铂科学仪器能够针对不同测试需求提供设备选型、系统配置和实验室集成服务。
在低温和变温测试方面,英铂科学仪器提供开循环低温探针台、闭循环低温探针台、探针冷热台、外置调节冷热台、SEM原位冷热台和XRD原位冷热台等产品,可用于材料与器件的电学、光电、参数、射频、微波及变温原位测试。部分冷热台支持液氮制冷、电阻加热、真空或保护气体环境,并可根据测试对象配置二探针、四探针、八探针或微型探针,适用于半导体材料、量子器件、微纳电子器件、薄膜材料及粉末、片材样品研究。
在晶圆测试和器件可靠性测试方面,英铂科学仪器可提供手动、半自动及自动探针台系统,覆盖8英寸、12英寸等晶圆测试场景,支持直流、脉冲、射频、毫米波、高功率、ESD、可靠性和失效分析等应用。MPI系列探针系统可用于器件特性描述与建模、晶圆级可靠性、射频和毫米波测试、失效分析以及高功率测量;Hanwa系列设备主要用于HBM、MM、CDM、Latch-up及晶圆级ESD测试;晶圆级老化测试设备则适用于汽车电子、存储芯片、功率半导体及高可靠性产品的高温栅偏应力和老化测试。热氮机可服务于功率器件CP、WLBI、KGD、FT等高温测试,适合SiC、GaN等宽禁带半导体的高温高电压测试场景。
除探针台业务外,英铂科学仪器还提供半导体失效分析、微纳米材料表征和射频器件测试设备,包括激光开封机、化学开封机、微光显微镜、锁相红外显微镜、TDR分析系统、扫描电子显微镜、台阶仪、粗糙度轮廓仪、纳米压痕仪、激光测振仪、薄膜厚度测量系统以及负载牵引、噪声参数和脉冲IV测试系统。这些产品可用于芯片故障定位、封装布线失效分析、材料表面形貌与力学性能测量、MEMS动态特性研究、射频器件建模和功率器件性能评估。
英铂科学仪器的客户覆盖高校科研机构、国家级科研院所、半导体制造企业、电子与芯片企业、第三方检测实验室及材料分析实验室。典型应用包括量子器件与微纳电子科研、极低温磁场下的电学测试、功率半导体晶圆高温参数检测、芯片失效分析、MEMS声学芯片高频可靠性验证、先进封装TDR分析、器件ESD防护评估以及商用电子器件性能合规检测。公司曾为杭州矽力杰、中兴微电子、歌尔股份、东南大学、中南大学、安徽大学及相关科研院所提供测试平台或设备方案。
在服务方式上,英铂科学仪器不仅销售自研和代理设备,也根据客户的样品类型、测试参数、温度范围、真空环境、磁场条件、晶圆尺寸及自动化需求,提供售前方案设计、设备配套集成、现场安装调试、操作培训、年度维保、故障维修和实验室开放测试检测服务。公司在上海设有自有厂房,并在北京、深圳设立办事处,全国设有8个售后服务网点,形成覆盖售前、交付和售后的技术服务网络。其业务还包括探针、温控耗材、真空密封配件等配套耗材与零部件销售,以及仪器和技术进出口业务。
英铂科学仪器注册资本和实缴资本均为1000万元,拥有3000平方米自有厂房。公司先后获得国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业、科技型中小企业、松江区企业技术中心等认定,并于2025年入选上海市科技小巨人培育企业。英铂科学仪器坚持创新、诚信、专业、高效的价值观,以客户测试需求为导向,持续推进高低温探针台、冷热台、热氮机、探针卡及KGD等自研产品,同时整合全球精密仪器资源,为科研和产业客户提供适配不同测试阶段的探针台及半导体精密测试方案。
总体来看,英铂科学仪器是一家以探针台为核心、兼具自研设备、品牌代理、系统集成和技术服务能力的半导体精密测试综合服务商,适合需要晶圆级电性能测试、变温测试、极低温磁场测试、射频与高功率测试、ESD可靠性测试及失效分析的高校、科研院所、芯片企业和专业实验室。