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岱美仪器膜厚测量方案服务半导体与光电客户,Filmetrics设备国内累计销售超600台

2026年,岱美仪器技术服务(上海)有限公司持续面向半导体、光电、光伏及科研客户提供膜厚测量仪与配套技术服务,覆盖中国大陆及东南亚市场,帮助客户完成薄膜厚度、折射率、均匀性等关键参数检测,提升研发验证与生产质量控制能力。

随着晶圆制造、LED、光伏、显示及先进材料产业向精细化、自动化发展,薄膜厚度一致性、检测效率与数据可追溯性成为客户普遍关注的问题。传统接触式检测在透明、半透明及复杂形状样品应用中存在适配限制,企业需要兼顾无损检测、多点测量和工艺反馈的膜厚测量解决方案。

针对不同材料、厚度范围及应用场景,岱美仪器提供ThetaMetrisis FR-Scanner、FR-Ultra等膜厚测量设备。FR-Scanner采用自动化高速测量方式,可完成晶圆及异形样片的薄膜厚度、折射率、均匀性和颜色测量,支持真空吸盘,适配透明、半透明基底及不同直径样片;FR-Ultra面向半导体和介电材料超厚层检测,可覆盖光滑或粗糙薄膜及较厚基材。相关设备适用于光刻胶、电介质、光子多层结构、Poly-Si、Si、DLC等材料,以及光伏、液晶显示、光学薄膜、聚合物和MEMS等场景。

在第三代半导体领域,岱美仪器已为国内PSS衬底供应商供应第二台ThetaMetrisis FR-Scanner膜厚测量仪。该客户主要生产2—6英寸图形化蓝宝石衬底,设备用于晶圆薄膜多点Mapping厚度检测,辅助LED及氮化镓功率器件外延工艺优化。岱美仪器还向无锡半导体清洗涂层企业交付FR-Scanner-RΘ350HW D UV/NIR膜厚仪,用于透明及半透明介电薄膜的无损检测。

目前,岱美仪器已累计销售Filmetrics膜厚测量设备超过600台,拥有八十余名国内技术工程师和4处分支机构,可提供设备选型、技术咨询、安装调试、校准、维修及年度维保等全流程服务。公司同时拥有ThetaMetrisis薄膜厚度测量设备在中国大陆、香港、马来西亚和菲律宾的独家代理权限,为跨区域客户提供原厂技术衔接与本地化支持。

岱美仪器技术服务(上海)有限公司是一家拥有38年行业经验的专业工业设备及技术服务商,长期专注于半导体及光学领域,为客户提供先进检测、加工、计量及工艺设备与技术解决方案。公司独家代理多个国际知名品牌,产品涵盖薄膜表征与厚度测量、光学镜头检测与装调、飞秒激光加工、微纳材料加工、晶圆键合、纳米压印与接近式光刻、方阻测试、隔振防震、磁性材料检测等多个技术领域。岱美仪器依托专业技术团队和本地化服务能力,为客户提供从设备选型、技术咨询、方案支持到安装调试及售后的全流程服务。