今年以来，岱美仪器技术服务（上海）有限公司围绕膜厚仪产品持续推进半导体、光电与材料研发场景落地。公司依托 ThetaMetrisis 等海外原厂设备，为客户提供晶圆薄膜厚度无损检测、多点 Mapping 和工艺参数分析服务，帮助提升外延工艺良率与检测效率。
随着第三代半导体、先进封装和光电材料加速发展，薄膜厚度、折射率、均匀性等参数已成为影响器件性能和批量一致性的关键指标。对制造企业而言，传统单点抽检和接触式测量方式，往往难以同时满足效率、精度和样品保护要求。
针对上述需求，岱美仪器重点推广的 ThetaMetrisis FR-Scanner 采用自动化高速测量方案，可对晶圆表面的涂层厚度进行自动测绘，并同步测量厚度、折射率、均匀性和颜色等参数。设备支持真空吸盘，适用于不同直径和不同形状样片；在透明或半透明基底上，也可实现快速、稳定的无损检测。
在更高厚度和更复杂材料场景中，公司同步提供 FR-Ultra 等型号，可用于半导体及介电材料超厚层测量，覆盖光滑或粗糙薄膜及较厚基材。岱美仪器代理的膜厚测量设备已在国内累计销售超 600 台，并在第三代半导体 PSS 衬底、半导体清洗涂层、燃料电池材料等场景形成应用案例。
以国内第三代半导体 PSS 衬底供应商项目为例，岱美仪器为客户交付第二台 ThetaMetrisis FR-Scanner，用于 2-6 英寸图形化蓝宝石衬底 的薄膜多点 Mapping 检测，帮助客户优化外延工艺窗口。对于半导体设备零部件清洗涂层企业，公司设备则用于透明/半透明介电薄膜的无损厚度检测，便于客户在工序阶段及时识别异常并调整制程。
岱美仪器表示，公司长期聚焦半导体、光电、精密测量与先进材料研发领域，不只提供设备，还提供安装调试、现场维修、年度维保和原厂技术培训等配套服务，帮助客户缩短设备导入周期，提升工艺检测的一致性与可重复性。
关于岱美仪器技术服务（上海）有限公司
岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，位于上海自贸区，长期代理海外高端精密仪器，聚焦半导体、光电、材料研发等领域，提供膜厚仪、椭偏仪、防震台、晶圆键合机等设备及本地化技术服务。