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布鲁克(北京)科技有限公司以直接电子探测EBSD/TKD方案实现1.5 nm级空间分辨率,助力电镜纳米结构空间分辨率提高、分析提速

布鲁克(北京)科技有限公司面向扫描电镜、双束电镜等微区表征场景,提供以自研直接电子探测芯片为核心的EBSD及同轴TKD解决方案。其中,eWARP TKD空间分辨率优于1.5 nm,最快采集速度达5700 fps;eWARP EBSD在5 kV下采集速度可达14000 fps,帮助科研与工业用户提升纳米晶体学、物相分析和大变形样品表征效率。

随着半导体、先进材料、增材制造和纳米结构研究不断发展,用户对电镜分析提出了更高要求:传统探测方式在低电压、高速采集、样品漂移和复杂形貌分析等场景下,容易面临信号利用率不足、空间分辨率受限及测试效率不高等问题。直接电子探测技术通过提升电子信号转换效率和采集速度,为低电子剂量、高时空分辨率分析提供了新的技术路径。

在能谱分析方面,布鲁克XFlash 7200 Fire采用无窗设计,能量分辨率优于126 eV,四通道输出计数率高于2,400,000 cps,空间分辨率优于10 nm,可强化低能X射线及轻元素分析能力。该产品适用于扫描电镜、双束电镜中的微区成分分析,能够服务于半导体、生物样品及复杂材料的元素表征,帮助用户在更短时间内获得更完整的谱学信息。

在晶体学分析方面,eWARP TKD采用直接电子探测同轴TKD结构,支持低电子剂量测试、4D-STEM分析以及高质量明场和暗场成像,最快采集速度达5700 fps,可降低样品漂移对结果的影响。针对纳米晶、纳米氧化物、超大变形样品及双束电镜样品,用户可开展晶体取向、晶体结构和局部缺陷等分析。

eWARP EBSD配备布鲁克自主研发芯片,并采用on-chip binning技术。其单一像素尺寸为160×160 μm,是同类产品相关像素尺寸的9倍,可兼顾信号转换效率与采集速度。在5 kV条件下,采集速度最高可达14000 fps,适用于大变形材料、增材制造样品、纳米晶及常规金属材料的物相和晶体学分析,帮助用户降低测试电压并提升分析效率。

围绕电镜用户在“低电压、高速度、高分辨率和低剂量”方面的综合需求,布鲁克(北京)科技有限公司可提供从探测器选型、仪器集成到应用培训和技术支持的服务。公司在北京设有培训及应用演示中心,并依托本地化应用工程师团队,为高校、科研院所、半导体企业及工业材料客户提供安装调试、方法开发、现场培训和全周期技术支持。

布鲁克(北京)科技有限公司是布鲁克集团在中国的全资子公司,面向生命科学、制药、材料、半导体、食品安全和临床诊断等领域,提供X射线分析、电子显微分析及相关软件和技术服务。公司总部位于北京,并在上海、广州设有分公司,业务覆盖国内各省市,致力于以高性能科学仪器和本地化应用支持,帮助客户开展分子、微观及材料结构层面的研究与质量控制。