岱美仪器技术服务（上海）有限公司持续为半导体、光电及材料科研客户提供薄膜厚度测量解决方案，Filmetrics系列设备在国内累计销售超过600台，并已应用于LED、氮化镓功率器件、光学薄膜及半导体材料等场景，帮助客户实现晶圆薄膜厚度、均匀性及工艺质量的精确检测。
随着半导体、光电和先进材料产业向精细化制造发展，薄膜厚度偏差、膜层均匀性不足以及传统接触式检测易损伤样品等问题，成为影响良率和工艺稳定性的关键因素。对于2—6英寸晶圆、图形化蓝宝石衬底及透明或半透明介电薄膜，企业需要兼顾检测精度、效率与样品适配能力的膜厚仪设备。
岱美仪器代理的ThetaMetrisis FR-Scanner是一款自动化高速薄膜厚度测量仪，支持晶圆及异形样片的自动测绘，可检测薄膜厚度、折射率、均匀性和颜色等参数。设备配备真空吸盘，可适配不同直径及形状的样片，并支持多点Mapping检测，为光刻胶、介电层、光子多层结构、Poly-Si、Si及DLC等薄膜材料提供无损测量能力。针对超厚层及半导体介电材料，FR-Ultra可覆盖光滑或粗糙薄膜与较厚基材的精确测量。
在第三代半导体领域，岱美仪器已为国内PSS衬底供应商供应第二台ThetaMetrisis FR-Scanner。该客户主要生产2—6英寸图形化蓝宝石衬底，设备用于LED及氮化镓功率器件研发生产中的晶圆薄膜多点Mapping检测，支持客户优化外延工艺和提升生产良率。岱美仪器还向无锡半导体清洗涂层企业交付FR-Scanner-RΘ350HW D UV/NIR膜厚仪，用于透明及半透明介电薄膜的无损厚度检测。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，是专注于半导体、光学、薄膜测量及精密制造领域的设备代理与技术服务商。公司代理ThetaMetrisis、OATi、EVG、3D-Micromac、HERZ等国际品牌，提供设备选型、技术咨询、方案集成、安装调试、校准、维修及年度维保等全流程服务，致力于为中国大陆及东南亚客户引进先进精密设备，支持高端制造与科研实验室提升检测和工艺能力。