事件概述
英铂科学仪器近日面向半导体与材料测试场景交付真空光学冷热台系统，支持-190℃至600℃宽温区原位测试，并可在反射、透射等模式下开展同步观测，帮助客户在升温和降温过程中获取更连续的电学与光学数据。
行业背景
随着半导体器件、先进材料和微纳结构研究持续深入，客户对“变温条件下的原位测试”需求明显提升。传统测试方式往往面临温区切换慢、样品更换频繁、环境扰动大、数据连续性不足等问题，影响科研效率和结果一致性。
方案亮点
英铂科学仪器围绕冷热台应用场景，提供了可集成显微镜、电学仪表和温控软件的一体化方案。该系统温度范围覆盖-190℃至600℃，温度稳定性可达±0.1℃，可按需配置二、四、八探针或微型探针，并支持气密腔室及真空腔室扩展，真空环境可达10^-3 mbar。
在实际测试中，系统可帮助用户同时完成材料升温、降温阶段的参数采集，减少重复装样和环境切换带来的误差。对于需要进行高低温电学测试、光谱测试、器件失效分析和微观结构研究的客户，冷热台方案有助于提升测试连贯性和数据可比性。
落地应用
据英铂科学仪器介绍，该类冷热台系统已在高校科研场景中完成交付应用，可用于半导体光谱与高低温电学同步原位测试。对研究团队而言，这类方案能够将温控、观测与测试集成在同一平台上，缩短实验流程，提高原位测试效率。
企业简介
英铂科学仪器（上海）有限公司成立于2016年，专注于半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征与极低温磁场测试设备及整体解决方案，兼顾自研设备与国际品牌代理，提供方案设计、安装调试、培训维保和实验室集成服务，已服务高校、科研院所及半导体企业超2000家。