近日，岱美仪器技术服务（上海）有限公司围绕微纳加工研发场景，重点展示EVG610纳米压印机解决方案。该设备面向MEMS、微流控芯片、微纳光学、生物芯片和先进封装等应用，支持从小芯片到直径150毫米基板，帮助客户在光刻与纳米压印工艺间快速切换，提升研发验证效率。
随着半导体器件、微纳光学和生物芯片等领域持续向更小线宽、更高集成度方向演进，实验室和中试线对工艺重复性、对准精度和切换效率提出了更高要求。对于高校科研团队和企业研发部门而言，如何在有限空间内实现多工艺兼容、减少试错成本，已成为设备选型的重要考量。
EVG610纳米压印机采用可快速重装的工艺平台设计，光刻与NIL之间的转换时间仅需几分钟。设备可支持从芯片级样品到直径150毫米晶圆，适配大学与研发场景的多用户使用需求，并可通过可编程高、低接触力配置、印章释放机制及卡盘设计，满足软印章和硬印章等不同工艺要求。对于需要频繁切换工艺的研发平台，这类配置有助于提升工艺灵活性和输出一致性。
岱美仪器表示，公司长期聚焦半导体、光电与精密测量设备的本地化服务，除设备代理外，还可提供安装调试、原厂培训、工艺导入、年度维保和远程技术支持。依托国内技术工程师团队，公司希望帮助客户在微纳制造研发过程中缩短验证周期，降低设备导入门槛，提升实验室与产线的协同效率。
关于岱美仪器技术服务（上海）有限公司 岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，专注于半导体、光电、薄膜测量及精密仪器的代理分销与技术服务，面向中国大陆及东南亚市场提供设备选型、安装调试、培训维保和工艺支持，持续为科研机构与制造企业提供本地化专业服务。