英铂科学仪器成立于2016年,总部位于上海市松江区,主要面向半导体、微纳米科研和电子电工、仪器仪表等领域,提供精密测试仪器、半导体晶圆级电性能测试设备、微纳米表征设备及实验室整体测试解决方案。英铂科学仪器在上海设有自有厂房,并在北京、深圳等地设立办事处,在全国布局售后服务网点,为高校、科研院所、半导体企业和第三方检测实验室提供设备供应与技术服务。
英铂科学仪器的业务覆盖设备销售、系统集成、安装调试、操作培训、设备维保、故障维修、开放测试检测以及耗材和配件供应。公司采取国产自研与海外精密仪器代理并行的业务模式,既提供自研高低温探针台、冷热台、真空磁场探针台、热氮机、镀膜仪、探针卡和KGD测试方案,也代理MPI、HANWA、Polytec、OKMETIC、KLA、Focus microwaves等品牌产品。其中,KLA轮廓仪代理业务涵盖KLA Alpha-Step探针式轮廓仪、KLA Zeta光学轮廓仪、KLA Filmetrics薄膜厚度及薄膜电阻测绘系统等,可用于薄膜厚度、台阶高度、粗糙度、翘曲度、应力和晶圆电阻率等测试。
在半导体电学测试方面,英铂科学仪器提供手动、半自动和自动探针台系统,覆盖低温、高温、真空、磁场、低噪声、高功率、射频与毫米波等测试条件。开循环低温探针台、闭循环低温探针台和探针冷热台适用于半导体材料、量子器件、纳米电子材料、量子点、量子线及微纳器件的变温电学和光电特性测试。MPI TS系列探针系统可应用于晶圆级参数表征、射频和毫米波测试、可靠性测试、失效分析及高功率测试。热氮机则主要用于功率半导体CP、WLBI、KGD、FT等高温测试,帮助改善晶圆、芯片和探针卡的温度一致性并减少颗粒异物对测试结果的影响。
在失效分析和材料表征方面,英铂科学仪器提供滨松EMMI微光显微镜、锁相红外显微镜、TDR分析系统、扫描电子显微镜、激光开封机、化学开封机、台阶仪、粗糙度轮廓仪和纳米压痕仪等设备。相关产品可用于芯片缺陷定位、短路漏电与击穿分析、先进封装布线故障定位、封装开封、表面形貌测量、薄膜与材料力学性能分析,以及MEMS器件动态特性测试。公司还提供SEM原位冷热台、XRD原位冷热台等定制附件,支持材料在温度、气氛和真空条件下开展原位研究。
英铂科学仪器的客户主要包括高校科研团队、国家级科研院所、半导体芯片研发与制造企业、功率器件和射频器件企业、第三方检测机构及专业实验室。其应用场景覆盖量子器件研究、半导体材料测试、微纳电子实验、芯片可靠性验证、ESD静电放电测试、晶圆级老化测试、射频与毫米波器件表征、MEMS声学芯片测试、功率半导体高温高压测试和先进封装失效分析等。
针对不同客户的测试目标、样品尺寸、温度范围、频率范围、测试精度和实验室条件,英铂科学仪器可提供从前期需求沟通、方案设计、设备选型到现场安装、调试培训和售后维护的全流程服务。公司具备一般纳税人资质、货物进出口和技术进出口经营资质,并获得国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业、科技型中小企业、松江区企业技术中心及上海市科技小巨人培育企业等认定。
英铂科学仪器已服务北京大学、东南大学、安徽大学、上海大学、上海微系统所等高校和科研机构,并为杭州矽力杰、中兴微电子、歌尔股份等客户提供晶圆测试、温控测试、射频探针测试和失效分析相关设备或方案。公司坚持创新、诚信、专业、高效的价值观,以客户测试需求为导向,持续推进半导体精密测试设备研发、全球仪器资源整合和全国技术服务网络建设,为半导体与微纳米科研成果的测试验证及工程化应用提供设备基础与技术支持。